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1. (WO2008003405) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES BILDES
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/003405    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2007/005498
Veröffentlichungsdatum: 10.01.2008 Internationales Anmeldedatum: 22.06.2007
IPC:
H01J 37/26 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS NTS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 56, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
SELLMAIR, Josef [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SELLMAIR, Josef; (DE)
Vertreter: TONGBHOYAI, Martin; Patentanwälte Freischem, An Gross St. Martin 2, 50667 Köln (DE)
Prioritätsdaten:
10 2006 031 643.6 06.07.2006 DE
10 2006 040 308.8 29.08.2006 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES BILDES
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING AN IMAGE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DESTINÉS À PRODUIRE UNE IMAGE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1) zur Erzeugung eines Bildes eines Objektes (5) mittels eines Teilchenstrahls, wobei bei dem Verfahren bzw. in der Vorrichtung (1) der Teilchenstrahl über das Objekt (5) gerastert wird. Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes des Objektes (5) mittels eines Teilchenstrahls anzugeben, welche mit einem kalten Feldemitter (2) derart verwendbar sind, daß eine gute Bildqualität stets gewährleistet ist. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß bei dem erfindungsgemäßen Verfahren bei Änderung eines Strahlparameters eine Rasterung eines Objekts (5) vorzugsweise mit korrigiertem Parameter wiederholt wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung (1) weist die entsprechenden Mittel (4, 6, 7) hierzu auf.
(EN)The invention relates to a method and to a device (1) for producing an image of an object (5) by means of a particle beam. According to the method and in the device (1), the particle beam is scanned by the object (5). The aim of the invention is to provide a method and a device for producing an image of an object (5) by means of a particle beam that can be used with a cold field emitter (2) in such a manner that a good image quality is constantly ensured. Said aim is achieved by virtue of the fact that, according to the invention, when a radiation parameter is altered, the object (5) is rescanned preferably with the corrected parameter. The inventive device (1) comprises the corresponding means (4, 6, 7) therefor.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un dispositif (1) destinés à produire une image d'un objet (5) au moyen d'un faisceau de particules. Selon le procédé et dans le dispositif (1), le faisceau de particules est tramé par l'intermédiaire de l'objet (5). L'invention a pour objet la mise au point d'un procédé et d'un dispositif destinés à produire une image d'un objet (5) au moyen d'un faisceau de particules qui peuvent être employés avec un émetteur de champ froid (2) de sorte qu'une bonne qualité d'image est assurée constamment. A cet effet, selon le procédé de l'invention, lors du changement d'un paramètre du faisceau, le tramage de l'objet (5) est réitéré de préférence avec le paramètre corrigé. Le dispositif (1) de l'invention présente à cet effet les éléments correspondants (4, 6, 7).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)