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1. (WO2008003374) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG VON WERKSTÜCKEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2008/003374    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2007/004781
Veröffentlichungsdatum: 10.01.2008 Internationales Anmeldedatum: 30.05.2007
IPC:
H01J 37/256 (2006.01), H01J 37/304 (2006.01), H01J 37/305 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01), B01J 19/08 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Anmelder: EADS DEUTSCHLAND GMBH [DE/DE]; Willy-Messerschmitt-Strasse, 85521 Ottobrunn (DE) (For All Designated States Except US).
PRO-BEAM AG & CO. KGAA [DE/DE]; Behringstrasse 6, 82152 Planegg (DE) (For All Designated States Except US).
FRIEDBERGER, Alois [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LÖWER, Thorsten [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FRICKE, Sören [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHMID, Ulrich [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: FRIEDBERGER, Alois; (DE).
LÖWER, Thorsten; (DE).
FRICKE, Sören; (DE).
SCHMID, Ulrich; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2006 030 874.3 04.07.2006 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG VON WERKSTÜCKEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR MACHINING WORKPIECES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'USINAGE DE PIÈCES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Mittels eines Elektronenstrahls (4) wird in einem Werkstück (3) Röntgenstrahlung (8) erzeugt, die an ausreichend dünnen Stellen des Werkstücks (3) auf der Werkstückrückseite (3b) austritt und mittels eines Röntgenstrahlungsdetektors (5) detektiert wird. Anhand der Röntgenstrahlungsintensität und der momentanen Einstrahlposition des Elektronenstrahls (4) lässt sich sowohl die beidseitige Oberflächenstruktur als auch die lokale Materialdicke ermitteln. Auf Basis solcher Werte können Werkstücke und/oder Werkstückbearbeitungsvorrichtungen justiert sowie der vertikale Materialabtrag in einer materialabtragenden Werkstückbearbeitungsvorrichtung kontrolliert werden.
(EN)X-rays (8) are generated in a workpiece (3) by means of an electron beam (4), said x-rays emerging on the rear side (3b) of the workpiece in sufficiently thin areas of the workpiece (3) and being detected by means of an x-ray radiation sensor (5). The surface structure on both sides and the local material thickness can be determined by means of the x-ray intensity and the momentaneous irradiation of the electron beam (4). On the basis of such values, workpieces and/or workpiece machining devices can be adjusted, and the vertical material removal controlled in a material-removing workpiece-machining device.
(FR)Selon la présente invention, des rayons X (8) sont produits dans une pièce (3) au moyen d'un faisceau électronique (4), lesquels rayons X sortent sur la face arrière (3b) de la pièce en des points suffisamment minces de la pièce (3) et sont détectés au moyen d'un détecteur de rayons X (5). L'intensité des rayons X et la position d'incidence instantanée du faisceau électronique (4) permettent de déterminer non seulement la structure de surface bilatérale, mais également l'épaisseur locale de matière. A partir de telles valeurs, il est possible de contrôler les pièces et/ou les dispositifs d'usinage de pièce de manière ajustée, ainsi que l'enlèvement de matière vertical dans un dispositif d'usinage de pièce par enlèvement de matière.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)