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1. WO2007095876 - HOCHREFLEKTIERENDES SCHICHTSYSTEM, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES SCHICHTSYSTEMS UND EINRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS

Veröffentlichungsnummer WO/2007/095876
Veröffentlichungsdatum 30.08.2007
Internationales Aktenzeichen PCT/DE2006/001561
Internationales Anmeldedatum 06.09.2006
IPC
C23C 28/02 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
28Beschichten zur Herstellung von mindestens zwei übereinanderliegenden Schichten entweder durch Verfahren, die nicht in einer einzelnen der Hauptgruppen C23C2/-C23C26/203
02nur Schichten aus metallischen Stoffen
C23C 28/04 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
28Beschichten zur Herstellung von mindestens zwei übereinanderliegenden Schichten entweder durch Verfahren, die nicht in einer einzelnen der Hauptgruppen C23C2/-C23C26/203
04nur Schichten aus anorganischen nichtmetallischen Stoffen
C23C 14/02 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
02Vorbehandlung des zu beschichtenden Werkstoffs
C23C 14/14 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
06gekennzeichnet durch das Beschichtungsmaterial
14Metallische Stoffe, Bor oder Silicium
C23C 14/34 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
34durch Aufstäuben
CPC
C23C 14/14
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
14Metallic material, boron or silicon
C23C 14/568
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
568Transferring the substrates through a series of coating stations
C23C 28/321
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
28Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
32including at least one pure metallic layer
321with at least one metal alloy layer
C23C 28/322
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
28Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
32including at least one pure metallic layer
322only coatings of metal elements only
C23C 28/34
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
28Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
34including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
C23C 28/345
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
28Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
34including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
345with at least one oxide layer
Anmelder
  • VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • FABER, Joerg [DE]/[DE] (UsOnly)
  • REINHOLD, Ekkehart [DE]/[DE] (UsOnly)
  • DEUS, Carsten [DE]/[DE] (UsOnly)
  • HECHT, Hans-Christian [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHUBERT, David [DE]/[DE] (UsOnly)
  • KRALAPP, Uwe [DE]/[DE] (UsOnly)
  • HUMMEL, Hendrik [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • FABER, Joerg
  • REINHOLD, Ekkehart
  • DEUS, Carsten
  • HECHT, Hans-Christian
  • SCHUBERT, David
  • KRALAPP, Uwe
  • HUMMEL, Hendrik
Vertreter
  • PITSCH, Matthias
Prioritätsdaten
10 2006 008 352.021.02.2006DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) HOCHREFLEKTIERENDES SCHICHTSYSTEM, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES SCHICHTSYSTEMS UND EINRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS
(EN) HIGHLY REFLECTIVE LAYER SYSTEM, METHOD FOR PRODUCING THE LAYER SYSTEM AND DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD
(FR) SYSTÈME DE COUCHES HAUTEMENT RÉFLÉCHISSANTES, PROCÉDÉ DE FABRICATION DU SYSTÈME DE COUCHES ET DISPOSITIF DE RÉALISATION DU PROCÉDÉ
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein hochreflektierendes Schichtsystem zur Beschichtung von Substraten mit reflexionserhöhenden Schichten, ein Verfahren zur Herstellung des Schichtsystems sowie eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Auf der Oberfläche des Substrats (S0) ist eine erste funktionelle Reflexionsschicht (S3) aufgetragen. Die erste funktionellen Reflexionsschicht (S3) kann reflektierend oder teilreflektierend sein und aus Metall oder einer Metalllegierung bestehen, die einen oder mehrere Bestandteile aus der Gruppe Kupfer, Nickel, Aluminium, Titan, Molybdän, Zinn enthält. Darüber ist eine zweite funktionelle Reflexionsschicht (S5) vorgesehen. Die zweite funktionelle Reflexionsschicht (S5) kann aus Metall oder einer Metalllegierung, beispielsweise Silber oder einer Silberlegierung, bestehen. Über der zweiten funktionellen Reflexionsschicht (S5) folgt eine erste transparente dielektrische Schicht (S7). Die erste transparente dielektrische Schicht (S7) kann beispielsweise aus Siliziumoxid bestehen. Über der ersten transparenten dielektrischen Schicht (S7) ist eine zweite transparente dielektrische Schicht (S8) angeordnet. Diese kann beispielsweise aus Titanoxid bestehen.
(EN)
The invention relates to a highly reflective layer system for coating substrates with reflection-enhancing layers, to a method for producing the layer system and to a device for carrying out the method. On the surface of the substrate (S0), a first functional reflection layer (S3) is applied. The first functional reflection layer (S3) may be reflective or partially reflective and consist of metal or a metal alloy which contains one or more constituents from the group comprising copper, nickel, aluminium, titanium, molybdenum and tin. Provided over it is a second functional reflection layer (S5). The second functional reflection layer (S5) may consist of metal or a metal alloy, for example silver or a silver alloy. Over the second functional reflection layer (S5) there follows a first transparent dielectric layer (S7). The first transparent dielectric layer (S7) may consist, for example, of silicon oxide. Arranged over the first transparent dielectric layer (S7) is a second transparent dielectric layer (S8). This may consist, for example, of titanium oxide.
(FR)
L'invention concerne un système de couches hautement réfléchissantes pour le revêtement de substrats avec des couches hautement réfléchissantes, un procédé de réalisation du système de couches ainsi qu'un dispositif de réalisation du procédé. Une première couche de réflexion fonctionnelle (S3) est disposée à la surface du substrat (S0). La première couche de réflexion fonctionnelle (S3) peut être réfléchissante ou partiellement réfléchissante et être constituée de métal ou d'un alliage métallique, qui contient un ou plusieurs éléments du groupe constitué du cuivre, du nickel, de l'aluminium, du titane, du molybdène et du zinc. Une seconde couche de réflexion fonctionnelle (S5) est disposée sur la première. La deuxième couche de réflexion fonctionnelle (S5) peut être constituée de métal ou d'un alliage métallique, par exemple de l'argent ou un alliage d'argent. Une première couche diélectrique transparente (S7) est disposée sur la seconde couche de réflexion fonctionnelle (S5). La première couche diélectrique transparente (S7) peut être composée par exemple d'oxyde de silicium. Une seconde couche diélectrique transparente (S8) est disposée sur la première couche diélectrique transparente (S7). Celle-ci peut par exemple être constituée d'oxyde de titane.
Auch veröffentlicht als
DE112006003700
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