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1. WO2007093497 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PRÜFSTRUKTUR ZUR PRÜFUNG DER DURCHBIEGUNG EINER MEMBRAN EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS UND ENTSPRECHENDE PRÜFSTRUKTUR

Veröffentlichungsnummer WO/2007/093497
Veröffentlichungsdatum 23.08.2007
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2007/050877
Internationales Anmeldedatum 30.01.2007
IPC
G01B 11/16 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
16zum Messen der Verformung eines festen Körpers, z.B. optische Dehnungsmesser
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
CPC
G01N 2203/0023
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2203Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
0014Type of force applied
0023Bending
G01N 2203/0282
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2203Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
02Details not specific for a particular testing method
026Specifications of the specimen
0262Shape of the specimen
0278Thin specimens
0282Two dimensional, e.g. tapes, webs, sheets, strips, disks or membranes
G01N 2203/0286
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2203Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
02Details not specific for a particular testing method
026Specifications of the specimen
0286Miniature specimen; Testing on microregions of a specimen
G01N 2203/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2203Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
02Details not specific for a particular testing method
06Indicating or recording means; Sensing means
G01N 3/068
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
3Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
02Details
06Special adaptations of indicating or recording means
068with optical indicating or recording means
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • SCHUETTE, Klaus [DE]/[DE] (UsOnly)
  • DAVIES, Neil [GB]/[DE] (UsOnly)
  • DUELL, Andreas [DE]/[DE] (UsOnly)
  • LAMMEL, Gerhard [DE]/[DE] (UsOnly)
  • NEUBAUER, Matthias [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SENZ, Volkmar [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHNITZLER, Thomas [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • SCHUETTE, Klaus
  • DAVIES, Neil
  • DUELL, Andreas
  • LAMMEL, Gerhard
  • NEUBAUER, Matthias
  • SENZ, Volkmar
  • SCHNITZLER, Thomas
Gemeinsamer Vertreter
  • ROBERT BOSCH GMBH
Prioritätsdaten
102006006890.415.02.2006DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PRÜFSTRUKTUR ZUR PRÜFUNG DER DURCHBIEGUNG EINER MEMBRAN EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS UND ENTSPRECHENDE PRÜFSTRUKTUR
(EN) METHOD FOR PRODUCING A TEST STRUCTURE IN ORDER TO TEST FLEXIBILITY OF A MEMBRANE OF A MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING EXAMINATION STRUCTURE
(FR) PROCÉDÉ POUR RÉALISER UNE STRUCTURE DE VÉRIFICATION DESTINÉE À VÉRIFIER LA COURBURE D'UNE MEMBRANE D'UN COMPOSANT MICROMÉCANIQUE, ET STRUCTURE DE VÉRIFICATION CORRESPONDANTE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung schafft eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einer Mehrzahl von diskreten Testmustern (T1-T4), wobei die Testmuster (T1-T4) durch Entwickeln (S3) strukturell unterschiedlich aufgelöst sind, so dass die strukturelle Auflösung eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der Position eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Erfindung schafft ebenfalls eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einem kontinuierlichen Testmuster (T5), wobei das Testmuster (T5) durch Entwickeln (S3) strukturell sich kontinuierlich ändernd aufgelöst ist, so dass die strukturelle Auflösung des Testmusters (T5) an einer jeweiligen Position des Testmusters (T5) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der jeweiligen Position des Testmusters (T5) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
(EN)
The invention relates to a test structure for testing flexibility of a membrane (3) of a micromechanical component (10), comprising a plurality of discrete test patterns (T1-T4). Said test patterns (T1-T4) are resolved in a structurally different manner by a developing process so that the structural resolution of a respective test pattern (T1-T4) represents a measurement for the flexibility of the membrane (3) in the position of a respective test pattern (T1-T4), and to a corresponding production method. The invention also relates to an test structure for testing the flexibility of a membrane (3) of a micromechanical component (10), said test structure comprising a continuous test structure (T5), whereby the test pattern (T1-T4) is resolved in a structurally continuous manner by a developing process so that the structural resolution of the test pattern (T5) in a respective position of the pest pattern (T5) represents a measurement of the flexibility of the membrane (3) in the respective position of the test pattern (T5), in addition to a corresponding method.
(FR)
La présente invention concerne une structure de vérification destinée à vérifier la courbure d'une membrane (3) d'un composant micromécanique (10), la structure comprenant une pluralité de motifs d'essai discrets (T1-T4) dont le développement (S3) donne des résolutions structurelles différentes de sorte que la résolution structurelle d'un motif d'essai (T1-T4) respectif est représentative de la courbure de la membrane (3) au niveau de l'emplacement du motif d'essai (T1-T4) respectif; ainsi qu'un procédé de réalisation correspondant. L'invention a également pour objet une structure de vérification destinée à vérifier la courbure d'une membrane (3) d'un composant micromécanique (10), la structure de vérification comprenant un motif d'essai continu (T5) dont le développement (S3) permet d'obtenir une résolution structurelle qui varie en continu de sorte que la résolution structurelle du motif d'essai (T5) au niveau de l'emplacement respectif du motif d'essai (T5) est représentative de la courbure de la membrane (3) au niveau de l'emplacement respectif du motif d'essai (T5); ainsi qu'un procédé de réalisation correspondant.
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