WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2007045215) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM VERDAMPFEN VON MATERIAL FÜR BESCHICHTUNGEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2007/045215    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE2006/001785
Veröffentlichungsdatum: 26.04.2007 Internationales Anmeldedatum: 10.10.2006
IPC:
B01B 1/00 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01)
Anmelder: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH [DE/DE]; Plattleite 19/29, 01324 Dresden (DE) (For All Designated States Except US).
DEUS, Carsten [DE/DE]; (DE) (For US Only).
TEICHERT, Bernd [DE/DE]; (DE) (For US Only).
OBST, Henrik [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: DEUS, Carsten; (DE).
TEICHERT, Bernd; (DE).
OBST, Henrik; (DE)
Vertreter: WOLF, Beate; Lippert, Stachow & Partner, Krenkelstr. 3, 01309 Dresden (DE)
Prioritätsdaten:
10 2005 049 906.6 17.10.2005 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM VERDAMPFEN VON MATERIAL FÜR BESCHICHTUNGEN
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR EVAPORATING MATERIAL FOR COATINGS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF D'EVAPORATION DE MATIERE DESTINES A DES REVETEMENTS
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Verdampfung von Verdampfungsmaterial, welches in einem Tiegel (1) vorliegt, indem mittels Energiezufuhr von einem regelbaren Leistungserzeuger (12) das Verdampfungsmaterial (3,4,5) auf eine solche Temperatur erhitzt wird, bei welcher sich ein Teil des Verdampfungsmaterials (5) in der Gasphase befindet. Der Erfindung liegt die Aufgabenstellung zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verdampfung von Verdampfungsmaterial (3,4,5) anzugeben, welche die Stabilisierung des Dampfstromes am Dampfaustritt (10) mittels einfacher, sicherer und kostengünstiger Kontroll- und Regelungsmöglichkeiten gestatten. Diese Aufgabe wird durch ein Verdampfungsverfahren gelöst, bei welchem dem Verdampfungsmaterial in der Weise Energie zugeführt und/oder abgeleitet wird, dass es während der stabilen Prozessphase gleichzeitig in gasförmiger (5) , in fester (3) und in flüssiger (4) Phase vorliegt und die Temperatur an der Oberfläche des flüssigen Verdampfungsmaterials annähernd der Temperatur seines Tripelpunkts entspricht. Eine Vorrichtung zur durch Durchführung des Verfahrens weist eine Messeinrichtung (14,15) zur Ermittlung des Erstarrungsgrades und/oder eine abschnittsweise erhitzbare (12) und/oder kühlbare (13) Wandung (1) auf .
(EN)The invention relates to an apparatus and a method for evaporating evaporation material that is in a crucible (1) by heating the evaporation material (3, 4, 5) by means of supplying energy from a controllable power generator (12) to a temperature at which part of the evaporation material (5) is in the gas phase. The invention is based on the object of providing a method and an apparatus for evaporating evaporation material (3, 4, 5) that allow the vapour stream at the vapour outlet (10) to be stabilized by means of simple, reliable and low-cost monitoring and regulating capabilities. This object is achieved by an evaporating method in which energy is supplied to and/or extracted from the evaporation material in such a way that, during the stable phase of the process, it is simultaneously in the gaseous phase (5), solid phase (3) and liquid phase (4) and the temperature at the surface of the liquid evaporation material corresponds approximately to the temperature of its triple point. An apparatus for carrying out the method has a measuring device (14, 15) for determining the degree of solidification and/or a partly heatable (12) and/or coolable (13) wall (1).
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé d'évaporation de matière d'évaporation déposée dans un creuset (1). Ce procédé consiste à chauffer la matière d'évaporation (3,4,5), par apport d'énergie d'un générateur de puissance (12) réglable, jusqu'à une température à laquelle une partie de la matière d'évaporation (5) se trouve dans la phase gazeuse. L'invention vise à créer un procédé et un dispositif d'évaporation de matière d'évaporation (3,4,5) qui autorise la stabilisation du flux de vapeur à la sortie de vapeur (10) à l'aide de moyens de commande et de réglage simples, sûrs et économiques. A cet effet, ce procédé d'évaporation consiste à céder et/ou prélever de l'énergie à/de la matière d'évaporation de telle façon que, pendant la phase de processus stable, la matière d'évaporation se trouve simultanément dans la phase gazeuse (5), la phase solide (3) et la phase liquide (4) et que la température de la surface de la matière d'évaporation liquide corresponde approximativement à la température de son point triple. Un dispositif destiné à la mise en oeuvre du procédé comprend un instrument de mesure (14,15) destiné à la détermination du degré de solidification et/ou une paroi (1) pouvant être chauffée (12) et/ou refroidie (13) par sections.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)