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1. (WO2007042017) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PLASMABEHANDLUNG VON OBJEKTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2007/042017    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE2006/001809
Veröffentlichungsdatum: 19.04.2007 Internationales Anmeldedatum: 13.10.2006
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/509 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c, 80686 München (DE) (For All Designated States Except US).
MEIER, Sven [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MEIER, Sven; (DE)
Vertreter: GAGEL, Roland; Landsberger Str. 480a, 81241 München (DE)
Prioritätsdaten:
10 2005 049 266.5 14.10.2005 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PLASMABEHANDLUNG VON OBJEKTEN
(EN) PROCESS AND DEVICE FOR THE PLASMA TREATMENT OF OBJECTS
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE TRAITEMENT D'OBJETS AU PLASMA
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Plasmabehandlung von Objekten. Die Vorrichtung umfasst eine Plasmakammer (3), in der zumindest eine Elektrode (2) als Objektträger angeordnet ist und zumindest ein Wandbereich der Plasmakammer (3) und/oder zumindest ein in der Plasmakammer (3) angeordnetes Bauteil eine Gegenelektrode bildet, und eine Hochfrequenzeinheit (6), mit der durch Anlegen einer hochfrequenten Wechselspannung zwischen Elektrode (2) und Gegenelektrode ein Plasma in der Plasmakammer (3) erzeugbar ist. Die Plasmakammer (3) ist durch eine Trenneinrichtung (9, 12) in zumindest zwei Teilvolumina aufgeteilt, von denen ein erstes Teilvolumen (10) für ein Reaktivgas die Elektrode (2) und ein zweites Teilvolumen (11) für ein Inertgas einen bei der Plasmaerzeugung aktiven Bereich der Gegenelektrode beinhalten. Die Trenneinrichtung (9, 12) ist derart ausgebildet, dass sie einen für die Erzeugung des Plasmas erforderlichen Elektronenaustausch im Plasma zwischen den Teilvolumina ermöglicht und als Diffusionssperre für das Reaktivgas wirken kann. Mit der vorliegenden Vorrichtung und dem zugehörigen Verfahren können durch die Plasmabehandlung hervorgerufene Niederschläge auf der Gegenelektrode vermindert werden.
(EN)Process and device for the plasma treatment of objects. The device comprises a plasma chamber (3) in which at least one electrode (2) is arranged as an object holder, and at least one wall region of the plasma chamber (3) and/or at least one component arranged in the plasma chamber (3) forms a counter-electrode, and a high-frequency unit (6) for generating a plasma in the plasma chamber (3) by application of a high-frequency alternating voltage between the electrode (2) and counter-electrode. The plasma chamber (3) is divided by a partitioning device (9, 12) into at least two subchambers, of which one first subchamber (10) for a reactive gas contains the electrode (2) and a second subchamber (11) for an inert gas contains a region of the counter-electrode which is active during plasma generation. The partitioning device (9, 12) is designed in such a way that it permits electron exchange in the plasma between the subchambers, which is necessary for generating the plasma, and can act as a diffusion barrier against the reactive gas. The present device and associated process can reduce the deposits caused by the plasma treatment on the counter-electrode.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé de traitement d'objets au plasma. Le dispositif selon l'invention comprend une chambre à plasma (3) dans laquelle est disposée au moins une électrode (2) servant de support d'objets et au moins une zone de paroi de cette chambre à plasma (3) et/ou au moins un composant disposé dans cette chambre à plasma (3) forme une contre-électrode, ainsi qu'une unité haute fréquence (6) au moyen de laquelle un plasma peut être généré dans la chambre à plasma (3) entre l'électrode (2) et la contre-électrode par application d'une tension alternative à haute fréquence. Selon l'invention, un dispositif de séparation (9, 12) sépare la chambre à plasma (3) en au moins deux volumes partiels, un premier volume partiel (10) pour un gaz réactif contenant l'électrode (2) et un second volume partiel (11) pour un gaz inerte contenant une zone de la contre-électrode qui est active lors de la génération du plasma. Ce dispositif de séparation (9, 12) est conçu de sorte qu'il permette un échange d'électrons dans le plasma entre les volumes partiels, cet échange étant nécessaire à la génération du plasma, et de sorte qu'il puisse agir comme barrière de diffusion pour le gaz réactif. Ce dispositif et le procédé associé permettent de réduire les dépôts occasionnés sur la contre-électrode par le traitement au plasma.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)