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1. (WO2007036461) MESSVORRICHTUNG UND MESSSYSTEM ZUM INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATES
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2007/036461    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2006/066505
Veröffentlichungsdatum: 05.04.2007 Internationales Anmeldedatum: 19.09.2006
IPC:
G01B 13/16 (2006.01)
Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, 80333 München (DE) (For All Designated States Except US).
DROBNER, Franz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ROMBAUER, Theodoro [BR/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: DROBNER, Franz; (DE).
ROMBAUER, Theodoro; (DE)
Allgemeiner
Vertreter:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34, 80506 München (DE)
Prioritätsdaten:
10 2005 046 154.9 27.09.2005 DE
Titel (DE) MESSVORRICHTUNG UND MESSSYSTEM ZUM INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATES
(EN) MEASUREMENT APPARATUS AND MEASUREMENT SYSTEM FOR INSPECTION OF A SURFACE OF A SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE ET SYSTEME DE MESURE POUR L'INSPECTION D'UNE SURFACE D'UN SUBSTRAT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung schafft eine Me ss Vorrichtung zum Inspizieren einer Oberfläche eines Substrates (190) mit einem Messkopf (110) , aufweisend einen Sensor (111) zur Erfassung der Oberfläche und ein neben dem Sensor (111) angeordnetes pneumatisches Element (112) , welches eine Einlassöffnung (115) und zumindest eine nach unten gerichtete Auslassöffnung (114) umfasst. Die Messvorrichtung weist ferner ein Flächen-Positioniersystem (220) , eingerichtet zum präzisen Positionieren des Messkopfes (110, 210) innerhalb einer x-y-Ebene oberhalb des Substrates (190) , und eine Drucklufterzeugungseinrichtung (250) auf, welche mit der Einlassöffnung (215) pneumatisch gekoppelt ist, so dass bei einer Beaufschlagung des pneumatischen Elements (112, 212) mit Druckluft der Messkopf (110, 210) in einer vorbestimmten Höhe über dem Substrat (190) positionierbar ist und auf einem Luftkissen gleitet. Die Erfindung schafft ferner eine Messsystem mit einer Mehrzahl von oben genannten Messvorrichtungen, welche derart zueinander angeordnet sind, dass die jeweiligen Sensoren eine Messzeile bilden.
(EN)The invention provides a measurement apparatus for inspection of a surface of a substrate (190), by means of a measurement head (110), having a sensor (111) for detection of the surface and having a pneumatic element (112) which is arranged alongside the sensor (111) and has an inlet opening (115) and at least one outlet opening (114), which points downwards. The measurement apparatus also has a surface positioning system (220), designed for precise positioning of the measurement head (110, 210) within an x-y plane above the substrate (190), and a compressed-air generating device (250), which is pneumatically coupled to the inlet opening (215), so that, when compressed air is applied to the pneumatic element (112, 212), the measurement head (110, 210) can be positioned at a predetermined height above the substrate (190), and slides on an air cushion. The invention also provides a measurement system having a plurality of abovementioned measurement apparatuses, which are arranged with respect to one another such that the respective sensors form a measurement row.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure pour l'inspection d'une surface d'un substrat (190), comprenant une tête de mesure (110) présentant un palpeur (111) pour la détection de la surface et un élément pneumatique (112), disposé près du palpeur (111), et qui comprend une ouverture d'entrée (115) et au moins une ouverture de sortie (114) dirigée vers le bas. Le dispositif de mesure présente en outre un système de positionnement de surfaces (220), agencé en vue du positionnement précis de la tête de mesure (110, 210) à l'intérieur d'un plan x y au-dessus du substrat (190), et un dispositif de production d'air comprimé (250) qui est accouplé pneumatiquement avec l'ouverture d'entrée (215), de sorte que lorsque l'élément pneumatique (112, 212) est soumis à l'action de l'air comprimé, la tête de mesure (110, 210) peut être positionnée à une hauteur prédéterminée au-dessus du substrat (190) et glisse sur un coussin d'air. L'invention concerne en outre un système de mesure comprenant plusieurs dispositifs de mesure précités, lesquels sont disposés mutuellement de telle façon que les palpeurs respectifs forment une ligne de mesure.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)