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1. (WO2006099758) VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER GEPULSTEN ARCQUELLE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/099758    Internationale Anmeldenummer    PCT/CH2006/000123
Veröffentlichungsdatum: 28.09.2006 Internationales Anmeldedatum: 01.03.2006
IPC:
H01J 37/32 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Anmelder: OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACH [CH/CH]; Hauptstrasse, CH-9477 Trübbach (CH) (For All Designated States Except US).
RAMM, Jürgen [DE/CH]; (CH) (For US Only).
GSTOEHL, Oliver [LI/LI]; (LI) (For US Only).
WIDRIG, Beno [CH/CH]; (CH) (For US Only).
LENDI, Daniel [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Erfinder: RAMM, Jürgen; (CH).
GSTOEHL, Oliver; (LI).
WIDRIG, Beno; (CH).
LENDI, Daniel; (CH)
Prioritätsdaten:
518/05 24.03.2005 CH
Titel (DE) VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER GEPULSTEN ARCQUELLE
(EN) METHOD FOR OPERATING A PULSED ARC SOURCE
(FR) PROCEDE D'UTILISATION D'UNE SOURCE D'ARC PULSEE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Arcverfahren zum Abscheiden isolierender Schichten sowie ein Arcverfahren zum Tieftemperaturbeschichten, wobei eine elektrische Funkenentladung die auf einer Oberfläche eines Targets (5) einer Arcquelle gezündet bzw. betrieben wird gleichzeitig mit einem Gleichstrom als auch mit einem Puls- bzw. Wechselstrom gespeist wird. Weiters betrifft die Erfindung eine Arcquelle bei der das Target (5) an eine Stromversorgungseinheit (13) angeschlossen ist, die entweder, zumindest eine erste gepulste Hochstromversorgung 18, 18' sowie eine weitere Stromversorgung 13', 18' ', oder eine in Schaltnetzteiltechnik ausgeführte Stromversorung 21, 21', 22 angeschlossen ist.
(EN)The invention relates to an arc method for depositing insulating layers and to an arc method for low-temperature coating. To this end, an electrical spark discharge, which is ignited or operated on a surface of a target (5) of an arc source, is simultaneously supplied with a direct current as well as with pulsed or alternating current. The invention also relates to an arc source in which the target (5) is connected to a power supply unit (13) that comprises either at least one first pulsed high-current supply (18, 18') and another power supply (13', 18'') or is a power supply (21, 21', 22) designed with combinational circuit technology.
(FR)L'invention concerne un procédé à l'arc destiné au dépôt de couches isolantes et un procédé à l'arc destiné au revêtement basse température. Une décharge d'arc électrique allumée ou utilisée à la surface d'une cible d'une source d'arc est simultanément alimentée avec un courant continu et un courant pulsé ou alternatif. L'invention concerne également une source d'arc dont la cible est connectée à une source d'alimentation électrique, connectée à au moins une première alimentation électrique haute tension pulsée (18, 18'), à une autre alimentation électrique (13', 18''), ou à une alimentation électrique (21, 21', 22) conçue en tant qu'élément de réseau de distribution.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)