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1. WO2006053362 - VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SCHICHTEN AUS IONISCHEN FLÜSSIGKEITEN

Veröffentlichungsnummer WO/2006/053362
Veröffentlichungsdatum 26.05.2006
Internationales Aktenzeichen PCT/AT2005/000460
Internationales Anmeldedatum 16.11.2005
IPC
C25D 3/66 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
25Elektrolytische oder elektrophoretische Verfahren; Vorrichtungen dafür
DVerfahren für die elektrolytische oder elektrophoretische Herstellung von Überzügen; Galvanoplastik; Verbinden von Werkstücken durch Elektrolyse; Vorrichtungen dafür
3Galvanisches Abscheiden von Metallen; Bäder dafür
66aus Schmelzen
CPC
C25D 3/02
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING
3Electroplating: Baths therefor
02from solutions
C25D 3/665
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING
3Electroplating: Baths therefor
66from melts
665from ionic liquids
C25D 5/18
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING
5Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
18Electroplating using modulated, pulsed or reversing current
Anmelder
  • PLANSEE SE [AT]/[AT] (AllExceptUS)
  • ECHEM KOMPETENZZENTRUM FÜR ANGEWANDTE ELEKTROCHEMIE [AT]/[AT] (AllExceptUS)
  • SCHOTTENBERGER, Herwig [AT]/[AT] (UsOnly)
  • BENTIVOGLIO, Gino [IT]/[IT] (UsOnly)
  • RAUCH, Martin [AT]/[AT] (UsOnly)
  • PORCHAM, Wolfgang [AT]/[AT] (UsOnly)
  • WINKLER, Georg [AT]/[AT] (UsOnly)
  • NAUER, Gerhard [AT]/[AT] (UsOnly)
  • KRENDELSBERGER, Rafael [AT]/[AT] (UsOnly)
  • MARTINZ, Hans-Peter [AT]/[AT] (UsOnly)
Erfinder
  • SCHOTTENBERGER, Herwig
  • BENTIVOGLIO, Gino
  • RAUCH, Martin
  • PORCHAM, Wolfgang
  • WINKLER, Georg
  • NAUER, Gerhard
  • KRENDELSBERGER, Rafael
  • MARTINZ, Hans-Peter
Gemeinsamer Vertreter
  • PLANSEE SE
Prioritätsdaten
A 8010/200519.11.2004AT
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SCHICHTEN AUS IONISCHEN FLÜSSIGKEITEN
(EN) METHOD FOR DEPOSITING LAYERS FROM IONIC LIQUIDS
(FR) PROCEDE POUR LE DEPOT DE COUCHES A PARTIR DE LIQUIDES IONIQUES
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung, insbesondere auch zur elektrochemischen Abscheidung von Schichten aus einer Vielzahl von metallischen oder halbleitenden Elementen und/oder deren Verbindungen auf Substraten. Die Abscheidung erfolgt aus nichtwässriger Lösung, mit einer, ein Kation und ein Anion aufweisenden, organischen ionischen Flüssigkeit (IL) als Bestandteil der Trägerflüssigkeit. Erfindungsgemäß ist das Kation eine redoxinerte und das Anion eine reduzierend wirkende Komponente. Nach dem Verfahren lassen sich dichte Schichten, frei von unerwünschten Komponenten, in einem kontinuierlichen Verfahrensablauf bei tiefen Temperaturen, vorzugsweise zwischen Raumtemperatur und 140°C, herstellen.
(EN)
The invention relates to a method for depositing, in particular, also for electrochemically depositing layers comprised of a multitude of metallic or semiconducting elements and/or combinations thereof onto substrates. The deposition ensues from a nonaqueous solution with an organic ionic liquid (IL), which has a cation and an anion and which is a constituent of the carrier liquid. According to the invention, the cation is a redox-inert component and the anion is a component having a reducing action. According to the method, dense layers, while being free of unwanted components, can be produced in a continuous process at low temperatures, preferably between room temperature and 140 °C.
(FR)
L'invention concerne un procédé pour le dépôt sur des substrats, notamment pour l'électrodéposition, de couches à partir d'une multitude d'éléments métalliques ou semi-conducteurs et/ou de leurs composés. Le dépôt se fait à partir d'une solution non aqueuse contenant comme constituant du liquide porteur un liquide ionique organique (IL) présentant un cation et un anion. Selon l'invention, le cation est un constituant inerte quant à l'oxydoréduction et l'anion est un constituant à action réductrice. Le procédé selon l'invention permet de produire des couches épaisses exemptes de constituants indésirables, lors d'un processus continu à basses températures, de préférence entre la température ambiante et 140 °C.
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