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1. (WO2006032553) INTERFEROMETRISCHES SYSTEM MIT REFERENZFLÄCHE MIT EINER VERSPIEGELTEN ZONE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2006/032553 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2005/053445
Veröffentlichungsdatum: 30.03.2006 Internationales Anmeldedatum: 18.07.2005
IPC:
G01N 21/45 (2006.01) ,G01N 21/95 (2006.01) ,G01N 21/88 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01) ,G01B 11/30 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01)
Anmelder: STRÄHLE, Jochen[DE/DE]; DE (UsOnly)
KALLMANN, Ulrich[DE/DE]; DE (UsOnly)
GENCOGLU, Rahmi[TR/TR]; TR (UsOnly)
KASTEN, Uwe[DE/DE]; DE (UsOnly)
ROBERT BOSCH GMBH[DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE (AllExceptUS)
Erfinder: STRÄHLE, Jochen; DE
KALLMANN, Ulrich; DE
GENCOGLU, Rahmi; TR
KASTEN, Uwe; DE
Allgemeiner
Vertreter:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
10 2004 045 802.222.09.2004DE
Titel (EN) INTERFEROMETRIC SYSTEM WITH REFERENCE SURFACES WITH A MIRRORED ZONE
(FR) SYSTEME INTERFEROMETRIQUE A SURFACE DE REFERENCE POURVUE D'UNE ZONE REFLECHISSANTE
(DE) INTERFEROMETRISCHES SYSTEM MIT REFERENZFLÄCHE MIT EINER VERSPIEGELTEN ZONE
Zusammenfassung: front page image
(EN) The invention relates to an interferometric system, with an illumination path, comprising a light source and an illumination lens system, forming an illumination beam path, an object path (40), comprising a reference element (42), for measuring an object (41) with an object surface (45) for measurement, forming an imaging beam path, whereby the object (41) for measurement comprises an object surface (45) not accessible to direct illumination, a reference path, comprising a reference element (47) and a detector path, comprising a detector and a beam splitter, whereby the reference element (42) comprises one or more mirrored regions (46). Components can thus be measured in a single measuring process, which have back-cut surfaces (45) in the direction of illumination.
(FR) L'invention concerne un système interférométrique pourvu d'un bras d'éclairage comportant une source lumineuse et une optique d'éclairage et servant à former un faisceau d'éclairage, d'un bras à objet (40) présentant un élément de référence (42) pour la mesure d'un objet (41), doté d'une surface d'objet (45) à mesurer, et servant à former un faisceau de reproduction, l'objet à mesurer (41) présentant une surface d'objet (45) non accessible à l'éclairage direct, d'un bras de référence présentant un élément de référence (47) et d'un bras de détection présentant un détecteur et un séparateur de faisceaux. Selon la présente invention, l'élément de référence (42) présente une ou plusieurs zones réfléchissantes (46). Ce système permet ainsi de mesurer, en une seule opération de mesure, des composants (41) présentant des surfaces en contre-dépouille (45) dans le sens d'éclairage.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Interferometrisches System mit einem eine Lichtquelle und eine Beleuchtungsoptik aufweisenden Beleuchtungsarm zum Bilden eines Be­leuchtungsstrahlengangs, einem ein Referenzelement (42) zur Vermessung eines Objektes (41) mit einer zu vermessenden Objektfläche (45) aufweisenden Objektarm (40) zum Bilden eines Abbildungsstrahlengangs, wobei das zu vermessenden Objekt (41) eine der direkten Beleuchtung nicht zugänglichen Objektfläche (45) aufweist, einem Referenzarm mit einem Referenzelement (47) und einem Detektorarm mit einem Detektor und einem Strahlteiler, wobei das Referenzelement (42) eine oder mehrere verspiegelte Zonen (46) aufweist. Damit können in einem einzigen Meßvorgang Bauteile (41) vermessen werden, die in Beleuchtungsrichtung hinterschnittene Flächen (45) aufweisen.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)