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1. (WO2006010128) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2006/010128 Internationale Anmeldenummer PCT/US2005/024580
Veröffentlichungsdatum: 26.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 11.07.2005
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 07.02.2006
IPC:
G06F 19/00 (2006.01) ,G06F 11/30 (2006.01) ,G01N 37/00 (2006.01)
G Physik
06
Datenverarbeitung; Rechnen; Zählen
F
Elektrische digitale Datenverarbeitung
19
Digitale Rechen- oder Datenverarbeitungsanlagen oder -verfahren, besonders angepasst an spezielle Anwendungen
G Physik
06
Datenverarbeitung; Rechnen; Zählen
F
Elektrische digitale Datenverarbeitung
11
Fehlererkennung; Fehlerkorrektur; Überwachung
30
Überwachung
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
37
Einzelheiten, die nicht von einer anderen Gruppe dieser Unterklasse umfasst sind
Anmelder:
ONWAFER TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 6591.A Sierra Lane Dublin, CA 94568, US (AllExceptUS)
Erfinder:
MACDONALD, Paul, D.; US
KRUGER, Michiel; US
WELCH, Michael; US
FREED, Mason, L.; US
SPANOS, Costas, J.; US
Vertreter:
WILLIAMS, Larry; 3645 Montgomery Drive Santa Rosa, CA 95405, US
Prioritätsdaten:
60/586,89210.07.2004US
Titel (EN) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
(FR) PROCEDE ET APPAREILS DE MAINTENANCE, DE DIAGNOSTIC ET D'OPTIMISATION DE PROCEDES
Zusammenfassung:
(EN) A method and system (50) for monitoring processes, optimizing processes, and diagnosing problems in the performance of a process tool for processing a workpiece. One embodiment of the present invention includes a software program that can be implemented in a computer for optimizing the performance of a process tool for processing a workpiece. System 50 includes a design experiments module (60), a perturbation model builder (70) and a data analysis module (75).
(FR) L'invention porte, dans un aspect, sur un procédé de surveillance de procédés, d'optimisation de procédés, et de diagnostic de problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement permettant de traiter une pièce à travailler. Dans un autre aspect, l'invention concerne un système configuré pour surveiller des procédés, optimiser des procédés et diagnostiquer des problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement servant à traiter une pièce à travailler. Un mode de réalisation de l'invention comprend un programme logiciel qui peut être installé dans un ordinateur afin d'optimiser la performance d'un instrument de traitement d'une pièce à travailler.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)