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1. (WO2006008061) REINRAUMFÄHIGE BESCHICHTUNGSANLAGE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/008061    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2005/007653
Veröffentlichungsdatum: 26.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 14.07.2005
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    11.03.2006    
IPC:
C23C 14/56 (2006.01), C23C 14/10 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Anmelder: SCHOTT AG [DE/DE]; Hattenbergstr. 10, 55122 Mainz (DE) (For All Designated States Except US).
MUND, Dietrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FUKAREK, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LEIB, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MUND, Dietrich; (DE).
FUKAREK, Wolfgang; (DE).
LEIB, Jürgen; (DE)
Vertreter: HERDEN, Andreas; Blumbach; Zinngrebe, Alexandra Str. 5, 65187 Wiesbaden (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 035 336.0 21.07.2004 DE
Titel (DE) REINRAUMFÄHIGE BESCHICHTUNGSANLAGE
(EN) COATING SYSTEM ADAPTED TO A CLEAN ROOM
(FR) INSTALLATION DE REVETEMENT ADAPTEE AUX SALLES BLANCHES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine reinraumfähige Beschichtungsanlage für PVD- oder CVD-Prozesse mit zumindest einer Vakuum-Beschichtungskammer, in welcher glasartige, glaskeramische und/oder keramische Schichten abgeschieden werden. Eine erste Öffnung der Vakuum-Beschichtungskammer ist über eine separat evakuierbare Vakuum-Schleusenkammer (Load-Lock) mit einem Reinraum verbunden, wobei die Vakuum-Schleusenkammer Transportmittel zum Zuführen von Substraten in die Vakuum-Beschichtungskammer und zur Entnahme von Substraten aus der Vakuum-Beschichtungskammer aufweist und eine zweite Öffnung der Vakuum-Beschichtungskammer verbindet die Vakuum-Beschichtungskammer mit einem vom Reinraum getrennten Grauraumbereich.
(EN)The invention relates to a coating system for PVD or CVD processes, which is adapted to a clean room. Said system comprises at least one vacuum coating chamber, wherein glass-like, vitroceramic and/or ceramic layers are deposited. A first opening of the vacuum coating chamber is joined to a clean room via a separate, vacuum-lock chamber (load-lock) which can be evacuated. The vacuum lock chamber comprises transport means which are used to feed substrates into the vacuum coating chamber and to remove substrates from the vacuum coating chamber. A second opening of the vacuum-coating chamber joins the vacuum-coating chamber to a grey room area which is separated from the clean room.
(FR)L'invention concerne une installation de revêtement adaptée aux salles blanches destinée aux procédés de PVD ou CVD et comprenant au moins une chambre de revêtement à vide dans laquelle on dépose des couches de type verre, vitrocéramique et/ou céramique. Un premier orifice de la chambre de revêtement à vide est relié à une salle blanche par une chambre sas à vide (Load-Lock) mise sous vide séparée. La chambre sas à vide comprend un moyen de transport permettant l'alimentation de substrats dans la chambre de revêtement à vide et le prélèvement des substrats de la chambre de revêtement à vide. Et un deuxième orifice de la chambre de revêtement à vide relie la chambre de revêtement à vide à une zone compartiment gris séparée de la salle blanche.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)