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1. (WO2006008060) REINRAUMFÄHIGE BESCHICHTUNGSANLAGE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/008060    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2005/007652
Veröffentlichungsdatum: 26.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 14.07.2005
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    09.03.2006    
IPC:
C23C 14/56 (2006.01)
Anmelder: SCHOTT AG [DE/DE]; Hattenbergstr. 10, 55122 Mainz (DE) (For All Designated States Except US).
MUND, Dietrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FUKAREK, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LEIB, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MUND, Dietrich; (DE).
FUKAREK, Wolfgang; (DE).
LEIB, Jürgen; (DE)
Vertreter: HERDEN, Andreas; Blumbach & Zinngrebe, Alexandra Str. 5, 65187 Wiesbaden (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 035 335.2 21.07.2004 DE
Titel (DE) REINRAUMFÄHIGE BESCHICHTUNGSANLAGE
(EN) COATING SYSTEM ADAPTED TO A CLEAN ROOM
(FR) INSTALLATION DE REVETEMENT ADAPTEE A UNE SALLE BLANCHE
Zusammenfassung: front page image
(DE)In der Vakuumkammer einer erfindungsgemässen Beschichtungsanlage, in welcher glasartige, glaskeramische und/oder keramische Schichten auf Substrate durch Abscheiden aus der Gasphase aufgebracht werden, ist zumindest eine Abschirmungseinrichtung angeordnet, welche die Vakuumkammerwände und/oder die in der Kammer angeordneten Bauteilen vor unerwünschten Ablagerungen des Schichtausgangsmaterials schützt. Wesentlich ist es, dass bei Temperaturänderungen in der Vakuumkammer, die Ausdehnung bzw. Schrumpfung der Abschirmungseinrichtung der Ausdehnung bzw. Schrumpfung der glasartigen, glaskeramischen oder keramischen Schicht bzw. Ablagerungen entspricht.
(EN)The invention relates to a coating system comprising a vacuum chamber wherein, glass-like, vitroceramic and/or ceramic layers are applied to substrates by deposition in the gas phase. At least one protection device is arranged in said vacuum chamber, said protection device protecting the vacuum chamber walls and/or the components arranged in the chamber from undesired deposits of the layer starting material. It is essential that expansion and/or shrinking of the protection device corresponds to the expansion and/or shrinking of the glass-like, vitroceramic or ceramic layer and/or deposits in case of temperature modifications in the vacuum chamber.
(FR)L'invention concerne une installation de revêtement comportant une chambre à vide dans laquelle des couches de type verre, vitrocéramique et/ou céramique sont appliquées sur des substrats par dépôt en phase gazeuse. On place dans cette chambre à vide au moins un équipement de protection qui protège les parois de la chambre à vide et/ou des composants placés dans la chambre de toute projection indésirable du matériau de départ de revêtement. En cas de variations de la température dans la chambre à vide, il est essentiel que la dilatation ou que le rétrécissement de l'équipement de protection corresponde à la dilatation ou au rétrécissement de la couche de type verre, vitrocéramique ou céramique ou des projections.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)