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1. (WO2006008025) VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINES OBJEKTES MITTELS LASER-STRAHLUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/008025    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2005/007519
Veröffentlichungsdatum: 26.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 12.07.2005
IPC:
G02B 21/00 (2006.01), G02B 21/18 (2006.01), G02B 21/22 (2006.01), G02B 21/36 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS MEDITEC AG [DE/DE]; Göschwitzer Str. 51-52, 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
HANFT, Marco [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MÜHLHOFF, Dirk [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GERLACH, Mario [DE/DE]; (DE) (For US Only).
EBERT, Elke [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: HANFT, Marco; (DE).
MÜHLHOFF, Dirk; (DE).
GERLACH, Mario; (DE).
EBERT, Elke; (DE)
Vertreter: BECK, Bernard; Carl Zeiss Jena GmbH, Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 034 952.5 16.07.2004 DE
10 2005 032 946.2 11.07.2005 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINES OBJEKTES MITTELS LASER-STRAHLUNG
(EN) DEVICE FOR MACHINING AN OBJECT BY MEANS OF LASER RADIATION
(FR) DISPOSITIF POUR USINER UN OBJET AU MOYEN DE RAYONS LASER
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bear­beitung eines Objektes (1) mit Hilfe von Laserstrahlung (32), insbesondere nach der Methode der Photodisruption, umfassend eine Beobachtungseinrichtung (13) zur Abbildung des Objektes (1) und eine Laser-Scan-Einrichtung (15), mit welcher die Laserstrahlung (32) scannend über einen vorge­gebenen Sektor (2) des Objektes (1) geführt wird. Erfindungsgemäß umfaßt eine solche Vorrichtung - die Beobachtungseinrichtung (13) mit einem ersten ob­ jektiv (14) zur Abbildung des Objektes (1) und - die Laser-Scan-Einrichtung (15) mit einem zweiten Ob­ jektiv (16), durch welches hindurch die Laserstrahlung (32) geführt wird, wobei - die beiden Objektive (14, 16) hinsichtlich der Größe der in den Abbildungen darstellbaren Bereiche und/oder hinsichtlich ihrer Schnittweite voneinander verschieden sind, und - Mittel zur wechselnden Abbildung des jeweiligen Berei­ches des Objektes (1) in einem ersten Betriebsmodus durch das erste Objektiv (14) und in einem zweiten Be­triebsmodus durch das zweite objektiv (16) vorhanden sind. Damit ist es möglich, in den beiden Betriebsmodi jeweils ein dem jeweiligen Anliegen angepaßtes objektiv (14 oder 16) zur Abbildung zu nutzen.
(EN)The invention relates to a device for machining an object (1) by means of laser radiation (32), in particular by using the photodisruption method. Said device comprises an observation device (13) for imaging the object (1) and a laser scanning device (15) by means of which the laser radiation (32) is passed over a predetermined sector (2) of the object (1) for scanning said sector. According to the invention, such a device comprises the observation device (13) with a first lens (14) for imaging the object (1); the laser scanning device (15) with a second lens (16), through which the laser radiation (32) is guided, wherein both lenses (14, 16) with regard to the dimension of the regions to be produced in the images and/or with regard to their focal intercept are different from each other; and means for alternately imaging the respective region of the object (1) in a first operating mode by the first lens (14) and in a second operating mode by the second lens (16). It is thus possible to use in both operating modes a lens (14 or 16) adapted to the intended imaging purpose.
(FR)L'invention concerne un dispositif pour usiner un objet (1) au moyen d'un rayon laser (32), en particulier au moyen d'un procédé de photointerruption. Ledit dispositif comprend un dispositif d'observation (13) destiné à donner une image d'un objet (1) et un dispositif de balayage au scanner (15) au moyen duquel le rayon laser (32) passe à travers un secteur prédéterminé (2) de l'objet (1), ceci permettant de balayer un objet. Selon l'invention, ledit dispositif comprend le dispositif d'observation (13) présentant une première lentille (14) destinée à donner une image de l'objet (1) ; le dispositif de balayage laser (15) comprenant une seconde lentille (16), à travers laquelle le rayon laser (32) est guidé, les deux lentilles (14, 16) étant différentes l'une de l'autre, par rapport aux dimensions des régions à produire dans les images et/ou par rapport leur point d'intersection focal ; et des moyens permettant de donner une image en variante de la région correspondante de l'objet (1) dans un premier mode de fonctionnement par la première lentille (14) et dans un second mode de fonctionnement par la seconde lentille (16). Il est ainsi possible d'utiliser dans les deux modes de fonctionnement une lentille (14, 16) adaptée à l'image souhaitée.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)