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1. (WO2006005704) VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION EINES MIKROSKOPISCHEN BAUTEILS MIT EINEM IMMERSIONSOBJEKTIV
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/005704    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2005/053213
Veröffentlichungsdatum: 19.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 05.07.2005
IPC:
G02B 21/33 (2006.01)
Anmelder: VISTEC SEMICONDUCTOR SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Ernst-Leitz-Str. 17-37, 35578 Wetzlar (DE) (For All Designated States Except US).
MUETEC AUTOMATISIERTE MIKROSKOPIE UND MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Hans-Bunte-Str. 5, 80992 München (DE) (For All Designated States Except US).
BRUECK, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HILLMANN, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHEURING, Gerd [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BOESSER, Hans-Artur [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BRUECK, Hans-Jürgen; (DE).
HILLMANN, Frank; (DE).
SCHEURING, Gerd; (DE).
BOESSER, Hans-Artur; (DE)
Vertreter: REICHERT, Werner; Kumpfmühlerstr. 3, 93047 Regensburg (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 033 208.8 09.07.2004 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION EINES MIKROSKOPISCHEN BAUTEILS MIT EINEM IMMERSIONSOBJEKTIV
(EN) DEVICE FOR INSPECTING A MICROSCOPIC COMPONENT BY MEANS OF AN IMMERSION OBJECTIVE
(FR) DISPOSITIF POUR INSPECTER UN COMPOSANT MICROSCOPIQUE AU MOYEN D'UN OBJECTIF A IMMERSION
Zusammenfassung: front page image
(DE)Es ist eine Vorrichtung (1) zur Inspektion, Messung definierter Strukturen, Simulation von Strukturen und Strukturfehlern, Reparatur von und an Strukturen und Nachinspektion definierter Objektstellen eines mikroskopischen Bauteils (2) mit einem Immersionsobjektiv (8a) offenbart. Die Vorrichtung (1) umfasst einen in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung verfahrbaren Auflagetisch, einen Halter (42) für das mikroskopische Bauteil (2), wobei der Halter (42) mit dem eingelegten mikroskopischen Bauteil (2) auf dem Auflagetisch (4) abgelegt ist. Der Halter (42) hat an einer Stelle ein Reservoir (51a) mit Immersions- bzw. Reinigungsflüssigkeit ausgeformt. Der Auflagetisch (4) ist derart verfahrbar, dass sich das Immersionsobjektiv (8a) direkt über dem Reservoir (51a) befindet und mit seiner Frontlinse in die Flüssigkeit eintauchen kann.
(EN)The invention relates to a device (1) for inspecting a microscopic component (2), for measuring defined structures of a microscopic component, for simulating structures and structure errors of a microscopic component, for repairing structures of a microscopic component or for repairing structures on a microscopic component and for post-inspecting defined object points of a microscopic component (2) by means of an immersion objective (8a). The device (1) comprises a supporting table which can be displaced in the direction of the X-co-ordinates and in the direction of the Y-co-ordinates, and a retainer (42) for the microscopic component (2), whereby the retainer (42) is disposed on the supporting table (4) with the mounted microscopic component (2). A reservoir (51a) which is provided with an immersion and/or cleaning liquid is formed on a point of said retainer. The supporting table (4) can be displaced in such a manner that the immersion objective (8a) is located directly over the reservoir (51a) and the front lens of said objective can be immersed into the liquid.
(FR)L'invention concerne un dispositif (1) pour inspecter un composant microscopique, mesurer des structures définies d'un composant microscopique, simuler des structures et des erreurs de structure d'un composant microscopique, réparer des structures d'un composant microscopique ou réaliser des réparations sur ces structures, et inspecter postérieurement des emplacements d'objets définis d'un composant microscopique, au moyen d'un objectif à immersion (8a). Le dispositif (1) selon l'invention comprend un plateau d'appui pouvant être déplacé dans la direction des X et dans la direction des Y, et un support (42) conçu pour le composant microscopique (2). Selon l'invention, lorsque le composant microscopique (2) repose sur le support (42), ce dernier peut être déposé sur le plateau d'appui (4). Un réservoir (51a) comportant un liquide d'immersion ou de nettoyage est formé à un emplacement dudit support (42). Le plateau d'appui (4) peut être déplacé de manière que l'objectif à immersion (8a) se trouve directement au-dessus du réservoir (51a), et de façon que la lentille frontale dudit objectif à immersion puisse plonger dans le liquide.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)