WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2006005703) VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION EINES MIKROSKOPISCHEN BAUTEILS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/005703    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2005/053212
Veröffentlichungsdatum: 19.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 05.07.2005
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: VISTEC SEMICONDUCTOR SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Ernst-Leitz-Str. 17-37, 35578 Wetzlar (DE).
MUETEC AUTOMATISIERTE MIKROSKOPIE UND MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Hans-Bunte-Str. 5, 80992 München (DE)
Erfinder: BRUECK, Hans-Jürgen; (DE).
SCHEURING, Gerd; (DE).
HILLMANN, Frank; (DE).
BOESSER, Hans-Artur; (DE)
Vertreter: REICHERT, Werner; Kumpfmühlerstr. 3, 93047 Regensburg (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 033 195 09.07.2004 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION EINES MIKROSKOPISCHEN BAUTEILS
(EN) DEVICE FOR INSPECTING A MICROSCOPIC COMPONENT
(FR) DISPOSITIF POUR LE CONTROLE D'UN COMPOSANT MICROSCOPIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Es ist eine Vorrichtung (1) zur Inspektion, Messung definierter Strukturen, Si- mulation von Strukturen und Strukturfehlern, Reparatur von und an Strukturen und Nachinspektion definierter Objektstellen eines mikroskopischen Bauteils (2) mit einem Auflagetisch (4) für das mikroskopische Bauteil (2) offenbart. Es ist mindestens ein Immersionsobjektiv (8a) und eine Einrichtung (21) zum do- sierten Aufbringen einer kleinen Flüssigkeitsmenge auf die Oberfläche (2a) des mikroskopischen Bauteils (2) vorgesehen. Eine Einrichtung (23) zum Ab- saugen der kleinen Flüssigkeitsmenge ist über der Oberfläche (2a) des mikro- skopischen Bauteils (2) angebracht, wobei die Einrichtung (23) das Immersionsobjektiv (8a) zumindest teilweise umschließt oder in der Nähe des Objektivs angeordnet ist.
(EN)The invention relates to a device (1) for inspecting a microscopic component (2), for measuring defined structures of a microscopic component, for simulating structures and structure errors of a microscopic component, for repairing structures of a microscopic component or for repairing structures on a microscopic component and for post-inspecting defined object points of a microscopic component (2). Said device comprises a supporting table (4) for the microscopic component (2). Moreover, at least one immersion objective (8a) and a device (21) for the metered application of a small amount of liquid on the surface (2a) of the microscopic component (2) is provided. A device (23) for suctioning the small amount of liquid is arranged above the surface (2a) of the microscopic component (2), said device (23) enclosing the immersion objective (8a) at least partially or being arranged in proximity to the objective.
(FR)L'invention concerne un dispositif (1) pour le contrôle, la mesure de structures définies, la simulation de structures et de défauts de structures, la réparation partielle ou totale de structures et le post-contrôle de point objets définis d'un composant microscopique (2). Ce dispositif (1) comporte une table de support (4) destinée au composant microscopique (2). Il comporte également un objectif à immersion (8a) et un dispositif (21) qui sert à appliquer, de façon dosée, une petite quantité de liquide sur la surface (2a) du composant microscopique (2). Un dispositif (23) servant à aspirer la petite quantité de liquide est placé sur la surface (2a) du composant microscopique (2), ce dispositif (23) entourant, au moins partiellement, l'objectif à immersion (8a) ou étant disposé à proximité de cet objectif.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)