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1. (WO2006005670) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER KONDENSATORANORDNUNG SOWIE ZUGEHÖRIGE KONDENSATORANORDNUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/005670    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2005/052920
Veröffentlichungsdatum: 19.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 22.06.2005
IPC:
H01L 21/02 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53, 81669 München (DE) (For All Designated States Except US).
BARTH, Hans-Joachim [DE/DE]; (DE) (For US Only).
TEWS, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BARTH, Hans-Joachim; (DE).
TEWS, Helmut; (DE)
Vertreter: KARL, Frank; Patentanwälte Kindermann, Postfach 100234, D-85593 Baldham (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 033 825.6 13.07.2004 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER KONDENSATORANORDNUNG SOWIE ZUGEHÖRIGE KONDENSATORANORDNUNG
(EN) METHOD FOR PRODUCING A CAPACITOR ARRANGEMENT, AND CORRESPONDING CAPACITOR ARRANGEMENT
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN SYSTEME DE CONDENSATEURS ET SYSTEME DE CONDENSATEURS ASSOCIE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Kondensatoranordnung sowie eine zugehörige Kondensatoranord­nung, wobei an der Oberfläche eines Trägersubstrats (1) eine erste Isolierschicht (2) ausgebildet wird und darin eine ers­te Kondensatorelektrode mit einer Vielzahl von beabstandeten ersten Leitbahnen (3) erzeugt wird. Unter Verwendung einer Maskenschicht werden Teilbereiche der ersten Isolierschicht (2) zum Freilegen der Vielzahl von ersten Leitbahnen (3) entfernt und nach Ausbilden eines Kondensatordielektrikums (5) an der Oberfläche der freigelegten ersten Leitbahnen (3) eine zweite Kondensatorelektrode mit einer Vielzahl von beabstandeten zweiten Leitbahnen (6) ausgebildet, die zwischen den ersten mit Kondensatordielektrikum beschichteten Leitbahnen (3) lie­gen. Durch dieses weiter vereinfachte Herstellungsverfahren können Kondensatoren mit einer hohen Flächenkapazität und me­chanischen Stabilität selbstjustierend und kostengünstig her­gestellt werden.
(EN)The invention relates to a method for producing a capacitor arrangement and to a corresponding capacitor arrangement. A first insulating layer (2) is formed on the surface of a supporting substrate (1), and a first capacitor electrode having a multitude of interspaced first strip conductors (3) is made inside this insulating layer. While use a mask layer, partial areas of the first insulating layer (2) are removed in order to expose the multitude of first strip conductors (3). After forming a capacitor dielectric (5) on the surface of the exposed first strip conductors (3), a second capacitor electrode having a multitude of interspaced second strip conductors (6) is formed that lie between the first strip conductors (3) coated with the capacitor dielectric. This additionally simplified production method enables a self-adjusting and cost-effective production of capacitors having a high surface capacitance and mechanical stability.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de produire un système de condensateurs, ainsi qu'un système de condensateurs associé. Une première couche isolante (2) est formée sur la surface d'un substrat porteur (1) et une première électrode de condensateur (2) comportant une pluralité de premiers tracés conducteurs (2), à distance les uns des autres, est produite dedans. L'utilisation d'une couche de masque permet d'éliminer des zones partielles de la première couche isolante (2), pour dégager une pluralité de premiers tracés conducteurs (3). Après formation d'un diélectrique de condensateur (5) sur la surface des premiers tracés conducteurs, une seconde électrode de condensateur comportant une pluralité de seconds tracés conducteurs (6), à distance les uns des autres, est produite, lesdits seconds tracés conducteurs se trouvant entre les premiers tracés conducteurs (3), eux-mêmes recouverts de diélectrique de condensateur. Ce procédé de production plus amplement simplifié encore permet de produire des condensateurs à haute capacité superficielle et à stabilité mécanique, de manière économique et à auto-ajustage.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)