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1. WO2006005670 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER KONDENSATORANORDNUNG SOWIE ZUGEHÖRIGE KONDENSATORANORDNUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2006/005670
Veröffentlichungsdatum 19.01.2006
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2005/052920
Internationales Anmeldedatum 22.06.2005
IPC
H01L 21/02 2006.01
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
02Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Teilen davon
CPC
H01L 23/5223
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
23Details of semiconductor or other solid state devices
52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another ; , i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
522including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
5222Capacitive arrangements or effects of, or between wiring layers
5223Capacitor integral with wiring layers
H01L 27/0805
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
02including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
04the substrate being a semiconductor body
08including only semiconductor components of a single kind
0805Capacitors only
H01L 28/91
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
28Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
40Capacitors
60Electrodes
82with an enlarged surface, e.g. formed by texturisation
90having vertical extensions
91made by depositing layers, e.g. by depositing alternating conductive and insulating layers
H01L 2924/0002
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2924Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
0001Technical content checked by a classifier
0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Anmelder
  • INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • BARTH, Hans-Joachim [DE]/[DE] (UsOnly)
  • TEWS, Helmut [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • BARTH, Hans-Joachim
  • TEWS, Helmut
Vertreter
  • KARL, Frank
Prioritätsdaten
10 2004 033 825.613.07.2004DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER KONDENSATORANORDNUNG SOWIE ZUGEHÖRIGE KONDENSATORANORDNUNG
(EN) METHOD FOR PRODUCING A CAPACITOR ARRANGEMENT, AND CORRESPONDING CAPACITOR ARRANGEMENT
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN SYSTEME DE CONDENSATEURS ET SYSTEME DE CONDENSATEURS ASSOCIE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Kondensatoranordnung sowie eine zugehörige Kondensatoranord­nung, wobei an der Oberfläche eines Trägersubstrats (1) eine erste Isolierschicht (2) ausgebildet wird und darin eine ers­te Kondensatorelektrode mit einer Vielzahl von beabstandeten ersten Leitbahnen (3) erzeugt wird. Unter Verwendung einer Maskenschicht werden Teilbereiche der ersten Isolierschicht (2) zum Freilegen der Vielzahl von ersten Leitbahnen (3) entfernt und nach Ausbilden eines Kondensatordielektrikums (5) an der Oberfläche der freigelegten ersten Leitbahnen (3) eine zweite Kondensatorelektrode mit einer Vielzahl von beabstandeten zweiten Leitbahnen (6) ausgebildet, die zwischen den ersten mit Kondensatordielektrikum beschichteten Leitbahnen (3) lie­gen. Durch dieses weiter vereinfachte Herstellungsverfahren können Kondensatoren mit einer hohen Flächenkapazität und me­chanischen Stabilität selbstjustierend und kostengünstig her­gestellt werden.
(EN)
The invention relates to a method for producing a capacitor arrangement and to a corresponding capacitor arrangement. A first insulating layer (2) is formed on the surface of a supporting substrate (1), and a first capacitor electrode having a multitude of interspaced first strip conductors (3) is made inside this insulating layer. While use a mask layer, partial areas of the first insulating layer (2) are removed in order to expose the multitude of first strip conductors (3). After forming a capacitor dielectric (5) on the surface of the exposed first strip conductors (3), a second capacitor electrode having a multitude of interspaced second strip conductors (6) is formed that lie between the first strip conductors (3) coated with the capacitor dielectric. This additionally simplified production method enables a self-adjusting and cost-effective production of capacitors having a high surface capacitance and mechanical stability.
(FR)
L'invention concerne un procédé permettant de produire un système de condensateurs, ainsi qu'un système de condensateurs associé. Une première couche isolante (2) est formée sur la surface d'un substrat porteur (1) et une première électrode de condensateur (2) comportant une pluralité de premiers tracés conducteurs (2), à distance les uns des autres, est produite dedans. L'utilisation d'une couche de masque permet d'éliminer des zones partielles de la première couche isolante (2), pour dégager une pluralité de premiers tracés conducteurs (3). Après formation d'un diélectrique de condensateur (5) sur la surface des premiers tracés conducteurs, une seconde électrode de condensateur comportant une pluralité de seconds tracés conducteurs (6), à distance les uns des autres, est produite, lesdits seconds tracés conducteurs se trouvant entre les premiers tracés conducteurs (3), eux-mêmes recouverts de diélectrique de condensateur. Ce procédé de production plus amplement simplifié encore permet de produire des condensateurs à haute capacité superficielle et à stabilité mécanique, de manière économique et à auto-ajustage.
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