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1. (WO2006005311) MESSANORDNUNG MIT EINER MEHRZAHL VON ABSTANDSSENSOREN, KALIBRIEREINRICHTUNG HIERFÜR UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER TOPOGRAFIE EINER OBERFLÄCHE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2006/005311    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE2005/001189
Veröffentlichungsdatum: 19.01.2006 Internationales Anmeldedatum: 04.07.2005
IPC:
G01B 21/04 (2006.01)
Anmelder: BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND, VERTR. DURCH DAS BUNDESMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT UND TECHNOLOGIE, DIESES VERTR. DURCH DEN PRÄSIDENTEN DER PHYSIKALISCH-TECHNISCHEN BUNDESANSTALT [DE/DE]; Bundesallee 100, 38116 Braunschweig (DE) (For All Designated States Except US).
WEINGÄRTNER, Ingolf [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ELSTER, Clemens [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHULZ, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: WEINGÄRTNER, Ingolf; (DE).
ELSTER, Clemens; (DE).
SCHULZ, Michael; (DE)
Vertreter: LINS, Edgar; c/o Gramm, Lins & Partner GbR, Theodor-Heuss-Strasse 1, 38122 Braunschweig (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 033 600.8 06.07.2004 DE
Titel (DE) MESSANORDNUNG MIT EINER MEHRZAHL VON ABSTANDSSENSOREN, KALIBRIEREINRICHTUNG HIERFÜR UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER TOPOGRAFIE EINER OBERFLÄCHE
(EN) MEASURING ARRANGEMENT COMPRISING A PLURALITY OF DISTANCE SENSORS, CALIBRATING DEVICE THEREFOR, AND METHOD FOR DETERMINING THE TOPOGRAPHY OF A SURFACE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE COMPORTANT UNE PLURALITE DE CAPTEURS DE DISTANCE, DISPOSITIF DE CALIBRAGE DESTINE A CET EFFET ET PROCEDE DE DETERMINATION DE LA TOPOGRAPHIE D'UNE SURFACE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Eine Messanordnung mit einem im Abstand zu einer Oberfläche (11) über diese in einer Scanrichtung (R) verfahrbaren Sensorkopf (13) mit einer Mehrzahl von zur Abstandsmessung geeigneten, in Scanrichtung fest zueinander beabstandeten Abstandssensoren, mit einer Bewegungseinrichtung zur Bewegung des Sensorkopfes (13) in solchen Scanschritten, dass Punkte der Oberfläche (11) in aufeinander folgenden Scanschritten von mehreren Abstandssensoren erfasst werden und mit einer Auswertungseinrichtung, der die Ausgangssignale der Abstandssensoren zuführbar sind, ist erweitert durch eine Winkelmesseinrichtung (14, 15) zur Bestimmung eines Winkelwerts des Sensorkopfes (13) relativ zur Scanrichtung (R) und Weitergabe des Winkelwerts an die Auswertungseinrichtung. Dadurch wird die Eliminierung systematischer Messfehler zur Rekonstruktion einer Topografie der Oberfläche (11) in Scanrichtung (R) möglich. Ausserdem ist es möglich, mit der Messanordnung eine Kalibrierung des Sensorkopfes (13) durchzuführen.
(EN)The invention relates to a measuring arrangement comprising a sensor head (13) that can be displaced over a surface (11) at a distance therefrom in a scanning direction (R), a plurality of distance sensors which are suitable for distance measurement and are interspaced in the scanning direction in a fixed manner, a displacement device for displacing the sensor head (13) in such a way that points of the surface (11) are detected in successive scanning steps carried out by a plurality of distance sensors, and an evaluation device to which the output signals of the distance sensors are supplied. According to the invention, one such measuring arrangement is improved by an angle measuring device (14, 15) for determining an angle value of the sensor head (13) in relation to the scanning direction (R), and for forwarding said angle value to the evaluation device. In this way, systematic measuring errors can be eliminated for the reconstruction of a topography of the surface (11) in the scanning direction (R). Furthermore, the sensor head (13) can be calibrated by means of the measuring arrangement.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure comportant une tête de capteurs (13) pouvant être déplacée à distance d'une surface (11), au-dessus de celle-ci, dans une direction de balayage (R), ladite tête de capteurs présentant une pluralité de capteurs de distance, disposés fixement à distance les uns des autres dans la direction de balayage. Ledit dispositif de mesure comporte également un dispositif de déplacement destiné à déplacer la tête de capteurs (13) selon des étapes de balayage telles que des points de la surface (11) sont détectés par plusieurs capteurs de distance au cours d'étapes de balayage successives, ainsi qu'un dispositif d'évaluation pouvant recevoir les signaux de sortie des capteurs de distance. Ledit dispositif de mesure est complété par un dispositif de mesure d'angle (14, 15) destiné à déterminer un angle de la tête de capteurs (13) par rapport à la direction de balayage (R) et à transmettre cet angle au dispositif d'évaluation. De cette manière, il est possible d'éliminer des erreurs de mesure systématiques pour la reconstruction de la topographie d'une surface (11) dans la direction de balayage (R), et d'effectuer un calibrage de la tête de capteurs (13) au moyen dudit dispositif de mesure.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)