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1. (WO2005100994) PARTIELL OXIDIERTES MAKROPORÖSES SILIZIUM MIT NICHTZUSAMMENHÄNGENDEN SILIZIUMWÄNDEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2005/100994    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2005/002390
Veröffentlichungsdatum: 27.10.2005 Internationales Anmeldedatum: 07.03.2005
IPC:
B01L 3/00 (2006.01), G01N 33/543 (2006.01), G02B 1/10 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01), H01L 21/762 (2006.01)
Anmelder: QIMONDA AG [DE/DE]; Intellectual Property, Gustav-Heinemann-Ring 212, 81379 München (DE) (For All Designated States Except US).
DERTINGER, Stephan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KLÜHR, Marco [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: DERTINGER, Stephan; (DE).
KLÜHR, Marco; (DE)
Vertreter: HOCK, Joachim; Müller-Boré & Partner, Grafinger Strasse 2, 81671 München (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 018 846.7 19.04.2004 DE
Titel (DE) PARTIELL OXIDIERTES MAKROPORÖSES SILIZIUM MIT NICHTZUSAMMENHÄNGENDEN SILIZIUMWÄNDEN
(EN) PARTIALLY OXIDISED MACROPOROUS SILICON COMPRISING DISCONTINUOUS SILICON WALLS
(FR) SILICIUM MACROPOREUX PARTIELLEMENT OXYDE COMPORTANT DES PAROIS DE SILICIUM DISCONTINUES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung, umfassend ein flächig ausgebildetes makroporöses Trägermaterial auf Silizium-Basis, das über mindestens einen Oberflächenbereich verteilt eine Vielzahl von Poren mit einem Durchmesser im Bereich von 500 nm bis 100 µm aufweist, welche sich von einer Oberfläche (10A) zur gegenüberliegenden Oberfläche (10B) des Trägermaterials durchgängig erstrecken, wobei die Vorrichtung zwei oder mehrere Bereiche (11A) aufweist, die jeweils mehrere Poren mit Porenwänden aus Si02 umfassen, und wobei diese Bereiche jeweils von einem zu den Längsachsen der Poren im wesentlichen parallel angeordneten, zu den Oberflächen (10A, 10B) hin offenen Rahmen bzw. Kasten (12) aus Wänden mit einem Siliziumkern (12A) umgeben ist, wobei der Kern aus Silizium über den Querschnitt zur Außenseite der den Rahmen bildenden Wände hin in Siliziumdioxid übergeht, und wobei jeder einzelne Rahmen (12) innerhalb der Gesamtheit aller Rahmen aus Wänden mit einem Siliziumkern (12A) vollständig von den ihn umgebenden Rahmen räumlich isoliert ist, sowie ein verfahren zu deren Herstellung. Die erfindungsgemäße Vorrichtung eignet sich als Basis für ein 'BioChip-Grundmodul' in Verfahren zum Nachweis biochemischer (Bindungs)Reaktionen sowie hierfür insbesondere zur Untersuchung von enzymatischen Reaktionen, Nukleinsäure-­Hybridisierungen, Protein-Protein-Wechselwirkungen und anderer Bindungsreaktionen im Bereich der Genom-, Proteom­oder Wirkstoff-Forschung in Biologie und Medizin.
(EN)The invention relates to a device comprising a flat macroporous substrate material which is based on silicon and is provided with a plurality of pores having a diameter of between 500 nm and 100 µm distributed over at least one surface area, said pores extending from one surface (10A) of the carrier material to the opposite surface (10B) in an interconnected manner. The inventive device comprises at least two regions (11A) respectively containing a plurality of pores having pore walls consisting of Si02, said regions being respectively surrounded by a frame or box (12) that consists of walls having a silicon core (12A), is open towards the surfaces (10A, 10B), and is arranged essentially parallel to the longitudinal axes of the pores. The silicon of the core gradually turns into silicon dioxide over the cross-section towards the outer side of the walls forming the frame, and each individual frame (12) of all of the frames consisting of walls having a silicon core (12A) is spatially isolated by the frames completely surrounding the same. The invention also relates to a method for producing said device. The inventive device can be used as a basis for a 'biochip basic module' in methods for detecting biochemical (binding) reactions, and especially for analysing enzymatic reactions, nucleic acid hybridisations, protein-protein interactions and other binding reactions therefor in the fields of genome, proteome or active ingredient research in biology and medicine.
(FR)L'invention concerne un dispositif comprenant un matériau de support macroporeux plat à base de silicium qui comporte au moins une pluralité de pores dont le diamètre est compris dans la plage allant de 500 nm à 100 µm, qui sont distribués sur au moins une zone superficielle, et qui s'étendent en continu d'une surface (10A) du matériau de support à la surface opposée (10B). Selon l'invention, le dispositif comporte au moins deux zones (11A) ou davantage qui comprennent respectivement plusieurs pores ayant des parois de pore en SiO2, et ces zones sont respectivement entourées par un cadre ou une caisse (12) qui est constitué(e) de parois ayant un noyau en silicium (12A), qui est disposé(e) de manière sensiblement parallèle aux axes longitudinaux des pores, et qui est ouvert(e) en direction desdites surfaces (10A, 10B). Le noyau de silicium devient du dioxyde de silicium sur la section transversale vers la face extérieure des parois formant le cadre. Chaque cadre individuel (12) parmi la pluralité de cadres constitués d'un noyau de silicium (12A) est entièrement isolé spatialement des cadres environnants. Cette invention se rapporte également à un procédé de production dudit dispositif. Le dispositif selon l'invention sert de base à un module de base de biopuce dans des procédés pour détecter des réactions de liaison biochimiques, et en particulier pour analyser des réactions enzymatiques, des hybridations d'acide nucléique, des interactions protéine-protéine et d'autres réactions de liaison dans le domaine de la recherche sur le génome, le protéome ou les substances actives, en biologie et en médecine.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)