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1. (WO2005098482) OPTISCHE ABBILDUNGSVORRICHTUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2005/098482    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2005/003654
Veröffentlichungsdatum: 20.10.2005 Internationales Anmeldedatum: 07.04.2005
IPC:
G02B 5/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
HOLDERER, Hubert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WAGNER, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
VON BUENAU, Rudolf [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: HOLDERER, Hubert; (DE).
WAGNER, Christian; (DE).
VON BUENAU, Rudolf; (DE)
Vertreter: LORENZ, Werner; Alte Ulmer Strasse 2, 89522 Heidenheim (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 017 082.7 07.04.2004 DE
Titel (DE) OPTISCHE ABBILDUNGSVORRICHTUNG
(EN) OPTICAL IMAGING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'IMAGERIE OPTIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere ein Objektiv für die Mikrolithographie zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, mit einer im Bereich einer Pupillenebene der optischen Abbildungsvorrichtung angeordneten Einrichtung zum Abdunkeln der Pupille. Die Einrichtung weist mechanische Elemente (11a-11e) auf, welche in der Art betätigbar sind, dass die Abdunklung der Pupille wenigstens annähernd radial symmetrisch variierbar ist.
(EN)The invention relates to an optical imaging device, especially an objective for microlithography for producing semiconductor components, said device comprising a mechanism which is arranged in the region of a pupil plane of the optical imaging device and is used to darken the pupil. Said mechanism comprises mechanical elements (11a-11e) that can be actuated in such a way that the darkening of the pupil can be at least approximately radially symmetrically varied.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'imagerie optique, en particulier un objectif de microlithographie pour réaliser des composants à semi-conducteur, ledit dispositif comprenant un mécanisme qui se trouve au niveau du plan de la pupille du dispositif d'imagerie optique, et sert à assombrir la pupille. Le mécanisme présente des éléments mécaniques (11a-11e) qui peuvent être actionnés de sorte que l'assombrissement de la pupille peut varier avec une symétrie au moins approximativement radiale.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)