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1. (WO2005078460) VORRICHTUNG UND VERFARHEN ZUM PRÜFEN EINES HALBLEITERBAUTEILS MIT KONTAKTFLÄCHEN AUF BEIDEN SEITEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2005/078460    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE2005/000216
Veröffentlichungsdatum: 25.08.2005 Internationales Anmeldedatum: 09.02.2005
IPC:
G01R 1/04 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53, 81669 München (DE) (For All Designated States Except US).
GRÖNINGER, Horst [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: GRÖNINGER, Horst; (DE)
Vertreter: SCHÄFER, Horst; Schweiger & Partner, Karl-Theodor-Str. 69, 80803 München (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 007 696.0 16.02.2004 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFARHEN ZUM PRÜFEN EINES HALBLEITERBAUTEILS MIT KONTAKTFLÄCHEN AUF BEIDEN SEITEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR TESTING A SEMI-CONDUCTOR COMPONENT HAVING CONTACT SURFACES ON BOTH SIDES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER UN ELEMENT SEMI-CONDUCTEUR DOTE DE SURFACES DE CONTACT SUR LES DEUX FACES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Testvorrichtung (1) zum Prüfen eines Halbleiterbauteils (2) mit Kontaktflächen (3) auf seiner Oberseite (4) und seiner Rückseite (5) und ein Verfahren zum Prüfen des Halbleiterbauteils (2). Dazu weist die Testvorrichtung (1) einen Testsockel (8) auf, der auf einer Testleiterplatte (6) montiert ist. Über innere Durchkontaktierungselemente (10) des Testsockels (8) können Kontaktflächen (3) auf der Oberseite (4) des Halbleiterbauteils (2) getestet werden. Die Kontaktflächen (3) auf der Rückseite (5) des Halbleiterbauteils (2) können mit Hilfe äußerer Durchkontaktierungselemente (12) die außerhalb des Aufnahmesitzes (9) angeordnet sind, für ein Prüfen des Halbleiterbauteils (2) angeschlossen werden.
(EN)The invention relates to a test device (1) which is used to test a semi-conductor component (2) provided with contact surfaces (3) on the upper side thereof (4) and the rear side thereof (5) and to a method which is used to test the semi-conductor component (2). The test device (1) comprises a test base (8) which is mounted on a test conductor plate (6). Contact surfaces (3) on the upper side (4) of the semi-conductor component (2) are tested by means of inner through-contact elements (10) of the test base (8). The contact surfaces (3) on the rear side (5) of the semi-conductor component (2) can be arranged on the outside of the receiving seat (9) with the aid of external through-contact elements (12) in order to test the semi-conductor component (2).
(FR)L'invention concerne un dispositif de test (1) pour contrôler un élément semi-conducteur (2) doté de surfaces de contact (3) sur la face supérieure (4) et sur la face inférieure (5), ainsi qu'un procédé pour contrôler cet élément semi-conducteur (2). Le dispositif de test (1) comporte un socle de test (8) monté sur une plaquette de test (6). Des éléments de métallisation internes (10) du socle de test (8) permettent de tester des surfaces de contact (3) sur la face supérieure (4) de l'élément semi-conducteur (2). Les surfaces de contact (3) sur la face inférieure (5) de l'élément semi-conducteur (2) peuvent être raccordées au moyen d'éléments de métallisation externes (12) disposés à l'extérieur du siège récepteur (9) pour tester l'élément semi-conducteur (2).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)