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1. (WO2005073427) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ULTRABARRIERE-SCHICHTSYSTEMS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2005/073427    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2004/013258
Veröffentlichungsdatum: 11.08.2005 Internationales Anmeldedatum: 23.11.2004
IPC:
C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/10 (2006.01), C23C 16/40 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. [DE/DE]; Hansastrasse 27 c, 80686 München (DE) (For All Designated States Except US).
CHARTON, Christoph [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FAHLAND, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KRUG, Mario [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHILLER, Nicolas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STRAACH, Steffen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: CHARTON, Christoph; (DE).
FAHLAND, Matthias; (DE).
KRUG, Mario; (DE).
SCHILLER, Nicolas; (DE).
STRAACH, Steffen; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2004 005 313.8 02.02.2004 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ULTRABARRIERE-SCHICHTSYSTEMS
(EN) METHOD FOR THE PRODUCTION OF AN ULTRA BARRIER LAYER SYSTEM
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN SYSTEME DE COUCHE BARRIERE ULTRA
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Ultrabarriere-Schichtsystems durch Vakuumbeschichtung eines Substrates mit einem Schichtstapel, der als Wechselschichtsystem aus Glättungsschichten und transparenten keramischen Schichten ausgebildet wird, mindestens jedoch eine Glättungsschicht zwischen zwei transparenten keramischen Schichten umfasst, welche durch Sputtern aufgebracht werden, bei dem während der Abscheidung der Glättungsschicht ein Monomer in eine evakuierte Beschichtungskammer eingelassen wird, in der ein Magnetronplasma betrieben wird.
(EN)The invention relates to a method for the production of an ultra barrier layer system by vacuum coating a substrate, said layer system comprises a stack of layers which are embodied as an alternating layer system made of smooth layers and transparent ceramic layers, comprising a smooth layer arranged between two transparent ceramic layers, which are applied by sputtering, whereby a monomer is introduced into an evacuated covering chamber during the deposition of the smooth layer, wherein a magnetron plasma is operated.
(FR)La présente invention a trait à un procédé de production d'un système de couche barrière ultra par le revêtement sous vide d'un substrat, ledit système comportant des couches superposées qui sont réalisées sous la forme d'un système de couches alternées constituées de couches douces et de couches en céramique transparentes, comportant une couche douce disposée entre deux couches en céramique transparentes, qui sont appliquées par pulvérisation cathodique, selon lequel un monomère est introduit dans une enceinte recouvrante sous vide lors du dépôt de la couche douce, dans laquelle opère un plasma de magnétron.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)