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1. WO2005050801 - LEITFÄHIGE HALTEPFOSTEN IN LUFTSPALTBASIERENDEN, OPTOELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

[ DE ]

Leitfähige Haltepfosten in luftspaltbasierenden, optoelektro-nischen Bauelementen

PATENTANSPRÜCHE

1. Optoelektronisches, vertikal orientiertes, Bauelement ent-haltend einen Schichtaufbau (69; 92) mit mehreren, optisch wirksamen Schichten (10; 53, 56, 57, 58, 59, 62; 83, 87, 89) und wenigstens einem gas- oder flüssigkeitsgefüllten Schichtzwischenraum (17; 55; 94), wobei der Schichtaufbau mittels wenigstens einer, äußeren, einem Randbereich des Schichtauf-baus zugeordneten Randstütze (67; 91) gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei der Schichten des
Schichtaufbaus durch ein Verbindeelement (14, 15, 16; 68; 90) fest miteinander verbunden sind, wobei sich das Verbindeelement abseits des Randbereichs des Schichtaufbaus befindet.

2. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei das Verbindeelement (14, 15, 16; 68; 90) möglichst dicht an dem optisch aktiven Bereich (66) der Schichten angeordnet ist.

3. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei das Verbindeelement (14, 15, 16; 68; 90) im wesentlichen senkrecht zu einer Schichtebene orientiert ist.

4. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei alle Schichten des Schichtaufbaus (69; 92) miteinander durch Verbindungselemente (14, 15, 16; 68; 90) verbunden sind.

5. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei das Material des Verbindungselements (14, 15, 16; 68; 90) eine hohe Selektivität zu einer Opferschicht (11, 12; 54, 60, 61;

84, 85, 88) in einem Ätzprozeß des Herstellungsprozesses aufweist, bei dem die SchichtZwischenräume (17; 55; 94) als Opferschichten weggeätzt werden.

6. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei das Verbindungselement (14, 15, 16; 68; 90) einen leitfähigen, zusammenhängenden Bereich (52; 82) enthält, der wenigstens zwei Schichten des Schichtaufbaus (69; 92) miteinander ver-bindet.

7. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei das Verbindungselement (14, 15, 16; 68; 90) einen leitfähigen, zusammenhängenden Kernbereich enthält und eine nichtleitende Hülle vorgesehen ist.

8. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei das Bauelement zwei einander gegenüberliegende Schichtaufbauten mit einer zwischenliegenden Kavität aufweist.

9. Optoelektronisches Bauelement nach dem vorstehenden Anspruch, wobei wenigstens ein Verbindungselement (14, 15, 16; 68; 90) in einem Schichtaufbau (69; 92) vorgesehen ist, dessen kavitätszugewandter Endabschnitt mit vorbestimmter Länge in die Kavität hineinragt.

10. Optoelektronisches Bauelement nach dem vorstehenden Anspruch, wobei zwei Schichtaufbauten mit je wenigstens einem Verbindungselement einander gegenüberstehend vorgesehen sind, wobei sich bei vertikaler Durchbiegung der Schichtaufbauten die Endabschnitte der gegenüberstehenden Verbindungselemente berühren.

11. Optoelektronisches Bauelement nach einem der vorstehenden

Ansprüche, ausgebildet als Bragg- Spiegelbauelement (DBR) .

12. Herstellungsverfahren für ein vertikal orientiertes, op-toelektronisches Bauelement enthaltend einen Schichtaufbau

(69; 92) mit mehreren, optisch wirksamen Schichten (10; 53, 56, 57, 58, 59; 83, 87, 89) und wenigstens einem gas- oder flüssigkeitsgefüllten Schichtzwischenraum (17; 55; 94), wobei der Schichtaufbau mittels wenigstens einer, äußerer, einem jeweiligen Randbereich des Schichtaufbaus zugeordneten Randstütze (67; 91) gehalten wird, enthaltend die Schritte:

a) Herstellen des Schichtaufbaus (69; 92) unter Verwendung geeigneter Opferschichtmaterialien für die Schichtzwischen-räume (17; 55; 94),
b) Erzeugen eines vertikalen Hohlraums (13; 50; 80), der zur Bildung eines Verbindungselementes (14, 15, 16; 68; 90) dient,
c) Entfernen der Opferschichten (11, 12; 54, 60, 61; 84, 85, 88)
d) Füllen des Hohlraums (13; 50; 80) mit einem Material vorgewählter elektrischer und thermischer Leitfähigkeit sowie vorgewählter mechanischer Festigkeit.

13. Herstellungsverfahren nach dem vorstehenden Anspruch, wobei der Hohlraum (13; 50; 80) mit Materialien unterschiedlicher elektrischer Leitfähigkeit oder unterschiedlicher thermischer Leitfähigkeit in jeweils vorgewählten Bereichen gefüllt wird, wobei jeweils bestimmte räumliche Bereiche des Hohlraums gezielt mit einem jeweiligen Material gefüllt werden.

14. Herstellungsverfahren nach dem vorstehenden Anspruch, wobei der Hohlraum (13; 50; 80) so befüllt wird, dass ein inne- rer Kern und eine äußere Hülle aus unterschiedlichen Materialien entstehen.