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1. WO2005050801 - LEITFÄHIGE HALTEPFOSTEN IN LUFTSPALTBASIERENDEN, OPTOELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN

Veröffentlichungsnummer WO/2005/050801
Veröffentlichungsdatum 02.06.2005
Internationales Aktenzeichen PCT/DE2004/002432
Internationales Anmeldedatum 01.11.2004
IPC
G02B 26/00 2006.01
GPhysik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
26Optische Vorrichtungen oder Anordnungen mit beweglichen oder verformbaren optischen Elementen zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder Richtung von Licht, z.B. Schalten, Austasten oder Modulieren
H01S 5/183 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
SVorrichtungen, die den Prozess der Lichtverstärkung durch stimulierte Emission von Strahlung verwenden, um Licht zu verstärken oder zu erzeugen; Vorrichtungen, die stimulierte Emission von elektromagnetischer Strahlung in anderen als optischen Wellenlängenbereichen verwenden
5Halbleiterlaser
10Aufbau oder Form des optischen Resonators
18Oberflächenemittierende Laser
183mit vertikalem Resonator
CPC
G02B 26/001
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
001based on interference in an adjustable optical cavity
H01S 5/04254
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
5Semiconductor lasers
04Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, ; e.g. by electron beams
042Electrical excitation ; ; Circuits therefor
0425Electrodes, e.g. characterised by the structure
04254characterised by the shape
H01S 5/04257
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
5Semiconductor lasers
04Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, ; e.g. by electron beams
042Electrical excitation ; ; Circuits therefor
0425Electrodes, e.g. characterised by the structure
04256characterised by the configuration
04257having positive and negative electrodes on the same side of the substrate
H01S 5/18341
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
5Semiconductor lasers
10Construction or shape of the optical resonator ; , e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
18Surface-emitting [SE] lasers
183having a vertical cavity [VCSE-lasers]
18341Intra-cavity contacts
H01S 5/18363
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
5Semiconductor lasers
10Construction or shape of the optical resonator ; , e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
18Surface-emitting [SE] lasers
183having a vertical cavity [VCSE-lasers]
18361Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors
18363comprising air layers
Anmelder
  • UNIVERSITÄT KASSEL [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • HILLMER, Hartmut [DE]/[DE] (UsOnly)
  • IRMER, Sören [DE]/[DE] (UsOnly)
  • DALEIDEN, Jürgen [DE]/[DE] (UsOnly)
  • TARRAF, Amer [LB]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • HILLMER, Hartmut
  • IRMER, Sören
  • DALEIDEN, Jürgen
  • TARRAF, Amer
Vertreter
  • REINHARDT, Thomas
Prioritätsdaten
103 53 546.214.11.2003DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) LEITFÄHIGE HALTEPFOSTEN IN LUFTSPALTBASIERENDEN, OPTOELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN
(EN) CONDUCTIVE POSTS FOR USE IN AIR GAP-BASED, OPTOELECTRONIC COMPONENTS
(FR) MONTANT DE MAINTIEN CONDUCTEUR DANS DES ELEMENTS OPTOELECTRONIQUES A BASE D'ENTREFERS
Zusammenfassung
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft opto-elektronische Bauelemente und Verfahren zu ihrer Herstellung. Insbesondere betrifft sie vertikal orientierte Bauelemente mit einem Schichtaufbau (69) mit mehreren, optisch wirksamen Schichten (53, 56, 57, 58, 59) und wenigstens einem luftgefüllten, Schichtzwischenraum (55), wobei de Schichtaufbau (69) mittels wenigstens einer, äusseren, einem Randbereich des Schichtaufbaus zugeordneten Randstütze (67) gehalten wird. Um eine erhöhte mechanische Stabilität des Schichtaufbaus zu erreichen, wird vorgeschlagen, wenigstens zwei der Schichten des Schichtaufbaus durch ein Verbindeelement (68) fest miteinander zu verbinden, wobei sich das Verbindeelement nicht in den Randbereichen des Schichtaufbaus und möglichst dicht an dem optisch genutzten Bereich (51) der Schichten (53) befindet.
(EN)
The invention relates to optoelectronic components and to methods for producing the same. The invention specifically relates to vertically oriented components having a layer structure (69) comprising a plurality of optically effective layers (53, 56, 57, 58, 59) and at least one air-filled cavity (55). Said layer structure (69) is supported by means of at least one outer marginal support (67) that is associated with a marginal area of the layer structure. In order to increase the mechanical stability of the layer structure, at least two layers of the layer structure are firmly interconnected by means of a connecting element (68). Said connecting element is not located in the marginal areas of the layer structure but is positioned as close as possible to the optically used area (51) of the layers (53).
(FR)
L'invention concerne des éléments optoélectroniques et des procédés pour les fabriquer. Elle concerne en particulier des éléments verticaux à structure stratifiée (69) comportant plusieurs couches (53, 56, 57, 58, 59) optiquement actives et au moins un espace (55) entre les couches rempli d'air, cette structure stratifiée (69) étant maintenue par au moins un soutien de bord (67) externe associé à une zone périphérique de la structure stratifiée. L'invention vise à réaliser une structure stratifiée à stabilité mécanique améliorée. A cet effet, au moins deux des couches de la structure stratifiée sont assemblées de manière fixe par un élément de liaison (68) qui ne se trouve par dans les zones périphériques de la structure stratifiée mais le plus près possible de la zone (51) à usage optique des couches (55).
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten