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1. WO2005050286 - ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERDRÜCKUNG VON SPECKLE-STRUKTUREN EINES GEPULSTEN LASERSTRAHLES

Veröffentlichungsnummer WO/2005/050286
Veröffentlichungsdatum 02.06.2005
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2004/012596
Internationales Anmeldedatum 06.11.2004
IPC
G02B 27/48 2006.01
GPhysik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
27Optische Systeme oder Geräte, soweit nicht in einer der Gruppen G02B1/-G02B26/115
48Optische Systeme, die mit Hilfe von Laser-Speckle-Effekten arbeiten
G03F 7/20 2006.01
GPhysik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20Belichten; Vorrichtungen dafür
H01S 3/00 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
SVorrichtungen, die den Prozess der Lichtverstärkung durch stimulierte Emission von Strahlung verwenden, um Licht zu verstärken oder zu erzeugen; Vorrichtungen, die stimulierte Emission von elektromagnetischer Strahlung in anderen als optischen Wellenlängenbereichen verwenden
3Laser, d.h. Vorrichtungen, die stimulierte Emission elektromagnetischer Strahlung im infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Wellenlängenbereich verwenden
CPC
G02B 27/48
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
48Laser speckle optics; ; Speckle reduction arrangements
H01S 3/005
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
Anmelder
  • HENTZE-LISSOTSCHENKO PATENTVERWALTUNGS GMBH & CO. KG [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • KARPUSHKO, Fedor, V. [GB]/[DE] (UsOnly)
  • LISSOTSCHENKO, Vitalij [DE]/[DE] (UsOnly)
  • MIKHAILOV, Aleksei [RU]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • KARPUSHKO, Fedor, V.
  • LISSOTSCHENKO, Vitalij
  • MIKHAILOV, Aleksei
Vertreter
  • BASFELD, Rainer
Prioritätsdaten
103 54 582.421.11.2003DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERDRÜCKUNG VON SPECKLE-STRUKTUREN EINES GEPULSTEN LASERSTRAHLES
(EN) ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE SUPPRESSION OF SPECKLE STRUCTURES OF A PULSED LASER BEAM
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE POUR EVITER LES STRUCTURES DE SPECKLE D'UN FAISCEAU LASER PULSE
Zusammenfassung
(DE)
Anordnung zur Unterdrückung von Speckle-Strukturen eines gepulsten, zur Materialbearbeitung verwendeten Laserstrahls (1) in einer Bearbeitungsebene (7), wobei die Anordnung Strahlteilermittel (2) zur Aufteilung des Laserstrahles (1) in zwei Teilstrahlen (3, 4) sowie Strahlvereinigungsmittel (6) zur Zusammenführung der beiden Teilstrahlen (3, 4) umfasst, wobei die Anordnung derart gestaltet ist, dass einer der beiden Teilstrahlen (3, 4) zwischen den Strahlteilermitteln (2) und den Strahlvereinigungsmitteln (6) eine derartige Phasenverschiebung erfährt, dass bei Überlagerung der Teilstrahlen (3, 4) in der Bearbeitungsebene (7) keine Speckle-Strukturen entstehen oder dass bei Überlagerung der Teilstrahlen (3, 4) in der Bearbeitungsebene (7) Speckle-Strukturen einer vorgegebenen Form und/oder Größe entstehen. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Unterdrückung von Speckle-Strukturen.
(EN)
The invention relates to an arrangement for the suppression of speckle structures of a pulsed laser beam (1) on a treatment plane (7), said laser beam being used for the treatment of material (1). The arrangement comprises beam divider means (2) which are used to divide the laser beam (1) into two partial beams (3, 4), in addition to beam combining means (6) which are used to bring together both of the partial beams (3, 4). The arrangement is embodied in such a manner that one of the two partial beams (3, 4) is subjected to phase displacement between the beam divider means (2) and the beam combining means (6), such that no speckle structures arise when the partial beams (3, 4) overlap on the treatment plane (7) or such that speckle structures having a predetermined shape and/or size arise when the partial beams (3, 4) overlap on the treatment place (7). The invention also relates to a method for suppressing speckle structures.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif pour éviter les structures de Speckle d'un faisceau laser pulsé (1) utilisé pour l'usinage de matière, dans un plan d'usinage (7). Selon l'invention, le dispositif comprend des éléments de séparation de faisceau (2) qui servent à séparer le faisceau laser (1) en deux faisceaux partiels (3, 4), et des éléments de rassemblement de faisceaux (6) qui servent à rassembler les deux faisceaux partiels (3, 4). Le dispositif est conçu de sorte que l'un des deux faisceaux partiels (3, 4) subit entre les éléments de séparation de faisceau (2) et les éléments de rassemblement de faisceaux (6), un déphasage tel que lors de la superposition des faisceaux partiels (3, 4) dans le plan d'usinage (7), aucune structure de Speckle n'apparaît, ou tel que lors de la superposition des faisceaux partiels (3, 4) dans le plan d'usinage (7), apparaissent des structures de Speckle ayant une forme et/ou une taille prédéterminée. L'invention a également pour objet un procédé pour éviter les structures de Speckle.
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