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1. (WO2005038398) MIKROELEKTROMECHANISCHER DREHRATENSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2005/038398    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2004/011383
Veröffentlichungsdatum: 28.04.2005 Internationales Anmeldedatum: 11.10.2004
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    17.05.2005    
IPC:
G01C 19/5642 (2012.01)
Anmelder: AUSTRIAMICROSYSTEMS AG [AT/AT]; Schloss Premstätten, A-8141 Unterpremstätten (AT) (For All Designated States Except US).
BRANDL, Manfred [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Erfinder: BRANDL, Manfred; (AT)
Vertreter: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Ridlerstrasse 55, 80339 München (DE)
Prioritätsdaten:
103 49 014.0 17.10.2003 DE
Titel (DE) MIKROELEKTROMECHANISCHER DREHRATENSENSOR
(EN) MICROELECTRO-MECHANICAL ROTATIONAL SPEED SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION MICROELECTROMECANIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen mikroelektromechanischen Drehratensensor, der einen mechanischen Oszillator (2) mit mindestens einem oszillierenden Element (3) aufweist, der mindestens eine erste und eine zweite Schwingungsmode (10,11) besitzt, wobei eine Schwingung der ersten Schwingungsmode (10) angetrieben wird und eine Rotation des Drehratensensors eine Kopplung der ersten und der zweiten Schwingungsmode (10,11) bewirkt, und der mechanische Oszillator (2) in einem ersten Halbleiterkörper (1) ausgebildet ist, wobei der erste Halbleiterkörper (1) mit einem zweiten Halbleiterkörper (4) verbunden ist, der eine integrierte Schaltung (5) mit mindestens einer Messelektrode (6,6a,6b) aufweist, mittels der eine Schwingung der zweiten Schwingungsmode (11) kapazitiv erfasst wird. Die Messelektrode (6a,6a,6b) ist in einem dem oszillierenden Element (3) gegenüberliegenden Bereich des zweiten Halbleiterkörpers (4) angeordnet.
(EN)The invention relates to a microelectro-mechanical rotational speed sensor comprising a mechanical oscillator (2) which has at least one oscillating element (3) and at least one first and second oscillation mode (10,11). An oscillation of the first oscillation mode (10) is actuated and a rotation of the rotational speed sensor results in coupling of the first and second oscillating modes (10,1&). The mechanical oscillator (2) is embodied in a first semiconductor body (1). The first semiconductor (1) is connected to a second semiconductor body (4) with an integrated circuit (5) consisting of at least one measuring electrode (6,6a,6b) which is used to capacitatively detect an oscillation of the second oscillation mode (11). The measuring electrode (6a,6a,6b) is arranged in an area of the second semiconductor body (4) opposite the oscillating element (3).
(FR)L'invention concerne un capteur de vitesse de rotation microélectromécanique comprenant un oscillateur mécanique (2) qui est pourvu d'au moins un élément oscillant (3) et qui présente au moins un premier et un deuxième mode d'oscillation (10, 11), une oscillation du premier mode d'oscillation (10) étant commandée et une rotation du capteur de vitesse de rotation entraînant un couplage du premier et du deuxième mode d'oscillation (10, 11). L'oscillateur mécanique (2) est formé dans un premier corps semi-conducteur (1). Selon l'invention, ce premier corps semi-conducteur (1) est relié à un deuxième corps semi-conducteur (4) qui présente un circuit intégré (5) comprenant au moins une électrode de mesure (6, 6a, 6b) au moyen de laquelle une oscillation du deuxième mode d'oscillation (11) est détectée de façon capacitive. Ladite électrode de mesure (6, 6a, 6b) est disposée dans une zone du deuxième corps semi-conducteur (4) située en vis-à-vis de l'élément oscillant (3).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)