WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2004109225) SCHALTBARES PUNKTLICHTQUELLEN-ARRAY UND DESSEN VERWENDUNG IN DER INTERFEROMETRIE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2004/109225    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE2004/001114
Veröffentlichungsdatum: 16.12.2004 Internationales Anmeldedatum: 01.06.2004
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01J 3/10 (2006.01), G01J 3/12 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01), G02F 1/1335 (2006.01)
Anmelder: UNIVERSITÄT STUTTGART [DE/DE]; Keplerstrasse 7, 70174 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
LIESENER, Jan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PRUSS, Christof [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: LIESENER, Jan; (DE).
PRUSS, Christof; (DE)
Vertreter: GAGEL, Roland; Landsbergerstrasse 480a, 81241 München (DE)
Prioritätsdaten:
103 25 601.6 05.06.2003 DE
Titel (DE) SCHALTBARES PUNKTLICHTQUELLEN-ARRAY UND DESSEN VERWENDUNG IN DER INTERFEROMETRIE
(EN) SWITCHED POINT LIGHT SOURCE ARRAY AND ITS USE IN INTERFEROMETRY
(FR) AGENCEMENT DE SOURCES LUMINEUSES PONCTUELLES COMMUTABLE ET SON UTILISATION EN INTERFEROMETRIE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft ein schaltbares Punktlichtquellen-Array oder SLM sowie dessen Verwendung zur interferometrischen Vermessung von Prüflingsoberflächen insbesondere mit asphärischen Oberflächen. Das Punktlichtquellen-Array besteht aus einem Flüssigkristalldisplay oder LCD (2), einem hinter dem LCD (2) angeordneten Mikrolinsen-Array (3), durch das der Eingangsstrahl (1) nach Durchgang durch das LCD (2) in einzelne Teilstrahlen aufgespaltet wird, und einem Lochblenden-Array (4). Das Lochblenden-Array (4) bewirkt, dass nur eine durch Beugung an einem in das LCD (2) eingeschriebenen Beugungsmuster entstehende erste oder höhere Beugungsordnung (5) auf Blendenöffnungen des Lochblenden-Arrays (4) trifft. Anstatt des LCDs kann auch ein Kippspiegelarray oder DMD verwendet werden. Durch Einbau des Punktlichtquellen-Arrays in ein Interferometer lassen sich sehr genau bekannte Wellenfronten unterschiedlicher Ausbreitungsrichtung als Referenzwellen erzeugen, die sich unabhängig voneinander schalten und in ihrer Phase schieben lassen.
(EN)The invention relates to a switched point light source array and to its use in the interferometry measurement of specimen surfaces. The point light source array is comprised of a liquid crystal display (2), a microlens array (3), arranged downstream of the liquid crystal display (1), which splits the incident beam (1), once it has passed the liquid crystal display (2), into individual beams, and a pin diaphragm array (4). Said pin diaphragm array (4) is adapted and arranged downstream of the microlens array (3) in such a manner that only a first or higher order of diffraction (5) of the individual beams, which order is created by diffraction on a diffraction pattern inscribed in the liquid crystal array (2), is incident on the diaphragm openings of the pin diaphragm array (4). Incorporation of the point light source array into an interferometer allows the very exact production of known wave fronts having different propagation directions as reference waves that can be switched and phase-shifted independently.
(FR)L'invention concerne un agencement de sources lumineuses ponctuelles commutable et son utilisation pour réaliser des mesures interférométriques de surfaces d'échantillons. L'agencement de sources lumineuses ponctuelles comprend un écran à cristaux liquides (2), un agencement de microlentilles (3), qui est placé en aval de l'écran à cristaux liquides (2) et qui divise le rayon incident (1), après le passage de ce dernier à travers l'écran à cristaux liquides (2), en rayons partiels individuels, et un ensemble diaphragme à trous (4). Ce dernier (4) est conçu et placé en aval de l'agencement de microlentilles (3) de sorte que seuls les rayons partiels correspondant à un premier ordre de diffraction (5), ou à un ordre supérieur de diffraction, qui résultent de la diffraction sur un motif de diffraction formé dans l'écran à cristaux liquides (2), traversent les orifices de l'ensemble diaphragme à trous (4). En intégrant l'agencement de sources lumineuses dans un interféromètre, on peut produire, avec une grande précision, des fronts d'onde connus, qui présentent une direction de propagation différente de celle des ondes de référence et qui peuvent être commutés et déphasés indépendamment les uns des autres.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)