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1. (WO2004102273) BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT AXIKON-MODUL
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2004/102273    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2004/004004
Veröffentlichungsdatum: 25.11.2004 Internationales Anmeldedatum: 16.04.2004
IPC:
G03F 7/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
SCHULTZ, Jörg [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SCHULTZ, Jörg; (DE)
Vertreter: SCHULTZ, Jörg; Carl Zeiss Patentabteilung, 73446 Oberkochen (DE)
Prioritätsdaten:
103 21 598.0 13.05.2003 DE
Titel (DE) BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT AXIKON-MODUL
(EN) LIGHTING SYSTEM COMPRISING AN AXICON MODULE
(FR) SYSTEME D'ECLAIRAGE POURVU D'UN MODULE AXICON
Zusammenfassung: front page image
(DE)Beleuchtungssystem (1) für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage mit einem Axikon-Modul (3) zur Erzeugung einer Beleuchtungsverteilung mit einem zentralen Intensitätsminimum. Das Axikon-Modul (3) weist ein erstes Axikonelement (5) mit einer ersten Axikonfläche (11) und ein dem ersten Axikonelement (5) zugeordnetes zweites Axikonelement (7) mit einer zweiten Axikonfläche (13) auf. Das Beleuchtungssystem (1) weist weiterhin ein erstes polarisationsbeeinflussendes optisches Element (15) auf, welches in Lichtrichtung vor dem ersten Axikonelement (5) angeordnet ist und derart aufgebaut ist, dass auf die Axikonflächen (11, 13) treffende Strahlen (19) annähernd senkrecht oder annähernd parallel zur jeweiligen Einfallsebene der Strahlen (19) polarisiert sind.
(EN)Disclosed is a lighting system (1) for a microlithographic projection exposure system, comprising an axicon module (3) for creating a lighting distribution having a central minimum intensity. The axicon module (3) is provided with a first axicon element (5) encompassing a first axicon surface (11), and a second axicon element (7) that is assigned to the first axicon element (5) and encompasses a second axicon surface (13). The inventive lighting system (1) also comprises a first polarization-influencing optical element (15) that is located upstream of the first axicon element (5) in the direction of the light and is designed such that beams (19) that hit the axicon surfaces (11, 13) are polarized approximately vertical or approximately parallel to the respective plane of incidence of the beams (19).
(FR)L'invention concerne un système d'éclairage (1) destiné à une installation d'éclairage par projection pour microlithographie et comprenant un module axicon (3) servant à générer une distribution d'éclairage ayant un minimum d'intensité central. Le module axicon (3) présente un premier élément axicon (5) pourvu d'une première surface d'axicon (11) et un deuxième élément axicon (7) affecté au premier élément axicon (5) et pourvu d'une deuxième surface d'axicon (13). Le système d'éclairage (1) présente en outre un premier élément optique (15) qui influence la polarisation, qui est placé avant le premier élément axicon (5) dans le sens de la lumière et qui est réalisé de sorte que des rayons (19) frappant les surfaces d'axicon (11, 13) sont polarisés sensiblement perpendiculairement ou sensiblement parallèlement au plan d'incidence respectif des rayons (19).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)