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1. (WO2004102139) INFRAROTSENSOR MIT VERBESSERTER STRAHLUNGSAUSBEUTE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2004/102139 Internationale Anmeldenummer PCT/DE2004/000971
Veröffentlichungsdatum: 25.11.2004 Internationales Anmeldedatum: 10.05.2004
IPC:
G01J 5/02 (2006.01) ,G01J 5/10 (2006.01)
Anmelder: SIMON, Marion[DE/DE]; DE (UsOnly)
LENEKE, Wilhelm[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHULZE, Mischa[DE/DE]; DE (UsOnly)
STORCK, Karlheinz[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHIEFERDECKER, Jörg[DE/DE]; DE (UsOnly)
KARL, Stephan[DE/DE]; DE (UsOnly)
HEIMANN SENSOR GMBH[DE/DE]; Grenzstrasse 22 01109 Dresden, DE (AllExceptUS)
Erfinder: SIMON, Marion; DE
LENEKE, Wilhelm; DE
SCHULZE, Mischa; DE
STORCK, Karlheinz; DE
SCHIEFERDECKER, Jörg; DE
KARL, Stephan; DE
Vertreter: HUDLER, Frank ; Lippert, Stachow & Partner Krenkelstrasse 3 01309 Dresden, DE
Prioritätsdaten:
103 21 640.513.05.2003DE
Titel (EN) INFRARED SENSOR WITH IMPROVED RADIANT YIELD
(FR) CAPTEUR D'INFRAROUGE A RENDEMENT ENERGETIQUE AMELIORE
(DE) INFRAROTSENSOR MIT VERBESSERTER STRAHLUNGSAUSBEUTE
Zusammenfassung: front page image
(EN) The invention relates to a radiation sensor, for example for the non-contact temperature measurement or infrared gas spectroscopy, comprising a detector chip (2), with a support body (17) which has a recess (18) and an absorber element (19) which absorbs radiation and is thus heated, whereby the absorber element (19) is arranged over the recess (18), such that at least a section of the absorber element (19) is not in contact with the support body (17) and the support body (17) is mounted on a support substrate (1). According to the invention, a radiation sensor, comprising a detector, preferably a detector chip, with a support body which has a recess and an absorber element which absorbs radiation and is thus heated, whereby the absorber element is arranged over the recess, such that at least a section of the absorber element is not in contact with the support body and whereby at least the base or the floor surface of the recess in the support body at least partly comprises a material which reflects the radiation for detection, can be provided, whereby at least the base or the floor surface of the recess (18) at least partly comprises a material (7) which reflects the radiation for detection and under which the support substrate (1) is located.
(FR) La présente invention concerne un capteur de rayonnement, p. ex. pour la mesure sans contact de température ou la spectroscopie infrarouge de gaz, lequel capteur comprend une puce de détection (2) composée d'un corps porteur (17) présentant un évidement (18) et d'un élément absorbeur (19) qui absorbe le rayonnement de façon à chauffer, ledit élément absorbeur (19) étant placé au-dessus de l'évidement (18), de sorte qu'au moins une section de l'élément absorbeur (19) n'est pas en contact avec le corps porteur (17), et ledit corps porteur étant monté sur un substrat support (1). L'objectif de cette invention est de fournir un capteur de rayonnement comprenant un détecteur, de préférence une puce de détection, composé d'un corps porteur présentant un évidement et d'un élément absorbeur qui absorbe le rayonnement de façon à chauffer, ledit élément absorbant étant placé au-dessus de l'évidement, de sorte qu'au moins une section de l'élément absorbeur n'est pas en contact avec le corps porteur, et au moins la base ou le fond de l'évidement dans le corps porteur étant au moins partiellement constitué(e) d'une matière qui réfléchit le rayonnement à détecter. A cet effet, au moins la base ou le fond de l'évidement (18) est au moins partiellement constitué(e) d'une matière qui réfléchit le rayonnement à détecter et sous laquelle se trouve le substrat support (1).
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft einen Strahlungssensor, z. B. für die berührungslose Temperaturmessung oder die Infrarot-Gasspektroskopie, der einen Detektorchip (2) bestehend aus einem Tragkörper (17) mit einer Ausnehmung (18) und einem Absorberelement (19), das Strahlung absorbiert und sich dadurch erwärmt, aufweist, wobei das Absorberelement (19) über der Ausnehmung (18) angeordnet ist, so daß zumindest ein Abschnitt des Absorberelements (19) den Tragkörper (17) nicht berührt und der Tragkörper auf einem Trägersubstrat (1) montiert ist. Um einen Strahlungssensor, der einen Detektor, vorzugsweise einen Detektorchip, bestehend aus einem Tragkörper mit einer Ausnehmung und einem Absorberelement, das Strahlung absorbiert und sich dadurch erwärmt, aufweist, wobei das Absorberelement über der Ausnehmung angeordnet ist, so daß zumindest ein Abschnitt des Absorberelements den Tragkörper nicht berührt und bei dem zumindest der Grund bzw. die Bodenfläche der Ausnehmung in dem Tragkörper zumindest teilweise aus einem Material besteht, das die zu detektierende Strahlung reflektiert wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß zumindest der Grund bzw. die Bodenfläche der Ausnehmung (18) zumindest teilweise aus einem Material (7) besteht, das die zu detektierende Strahlung reflektiert und unter dem sich das Trägersubstrat (1) befindet.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)