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1. (WO2004083141) ROHR AUS SYNTHETISCHEM QUARZGLAS FÜR DIE HERSTELLUNG EINER VORFORM, VERFAHREN FÜR SEINE HERSTELLUNG IN EINEM VERTIKALZIEHVERFAHREN UND VERWENDUNG DES ROHRES
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Veröff.-Nr.: WO/2004/083141 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2004/002882
Veröffentlichungsdatum: 30.09.2004 Internationales Anmeldedatum: 19.03.2004
IPC:
C03B 19/14 (2006.01) ,C03B 37/012 (2006.01) ,C03B 37/018 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
03
Glas; Mineral- oder Schlackenwolle
B
Herstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle; Nachbehandlungsverfahren bei der Herstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle
19
Andere Verfahren zum Formen von Glas
14
durch Reaktion in der Gasphase
C Chemie; Hüttenwesen
03
Glas; Mineral- oder Schlackenwolle
B
Herstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle; Nachbehandlungsverfahren bei der Herstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle
37
Herstellen oder Behandeln von Flocken, Fasern oder Fäden aus zähflüssigem Glas, zähflüssigen Mineralien oder Schlacken
01
Herstellen von Glasfasern oder -fäden
012
Herstellung von Vorformen für das Ziehen von Fasern und Fäden
C Chemie; Hüttenwesen
03
Glas; Mineral- oder Schlackenwolle
B
Herstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle; Nachbehandlungsverfahren bei der Herstellung oder Formgebung von Glas, Mineral- oder Schlackenwolle
37
Herstellen oder Behandeln von Flocken, Fasern oder Fäden aus zähflüssigem Glas, zähflüssigen Mineralien oder Schlacken
01
Herstellen von Glasfasern oder -fäden
012
Herstellung von Vorformen für das Ziehen von Fasern und Fäden
014
durch ausschließliche oder teilweise Anwendung chemischer Mittel
018
durch Abscheidung von Glas auf einer Glasunterlage, z. B. durch chemische Abscheidung aus der Dampfphase
Anmelder:
HERAEUS TENEVO GMBH [DE/DE]; Quarzstrasse 8 63450 Hanau, DE (AllExceptUS)
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. [JP/JP]; 22-2, Nishi-Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku Tokyo 160-0023, JP (JP, KR)
GANZ, Oliver [DE/DE]; DE (UsOnly)
SATTMANN, Ralph [DE/DE]; DE (UsOnly)
VYDRA, Jan [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
GANZ, Oliver; DE
SATTMANN, Ralph; DE
VYDRA, Jan; DE
Vertreter:
STAUDT, Armin; Auf der Mauer 8 63674 Altenstadt, DE
Prioritätsdaten:
103 12 543.422.03.2003DE
103 12 760.721.03.2003DE
Titel (DE) ROHR AUS SYNTHETISCHEM QUARZGLAS FÜR DIE HERSTELLUNG EINER VORFORM, VERFAHREN FÜR SEINE HERSTELLUNG IN EINEM VERTIKALZIEHVERFAHREN UND VERWENDUNG DES ROHRES
(EN) SYNTHETIC SILICA GLASS TUBE FOR THE PRODUCTION OF A PREFORM, METHOD FOR PRODUCING THE SAME IN A VERTICAL DRAWING PROCESS AND USE OF SAID TUBE
(FR) TUBE EN VERRE DE QUARTZ SYNTHETIQUE POUR LA FABRICATION D'UNE PREFORME, PROCEDE DE FABRICATION DUDIT TUBE SELON UN PROCEDE D'ETIRAGE VERTICAL ET UTILISATION DUDIT TUBE
Zusammenfassung:
(DE) Ein bekanntes Rohr aus synthetischem Quarzglas für die Herstellung einer Vorform, weist eine Innenbohrung mit werkzeugfrei im Schmelzfluss erzeugter Oberflächenschicht sowie einen Innenbereich auf. Damit das Rohr keine OH-Gruppen an die Umgebung abgibt, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen dass die Overchenschicht (30) eine Stärke von 10µm und darin einem mittleren OH-Gehalt von aximal5 Gew.-ppm sowie eine mittlere Oberflächenrauigkeit Ra von maximal 0,1 µm, aufweist, und dass der an der Oberflächenschicht (30) beginnende und 10 pm vor der Außenwandung endende Innenbereich (34) einen mittleren OH Gehalt von maximal 0,2 Gew.-ppm aufweist. Ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines derartigen Quarzglasrohres besteht darin, dass in einem Vertikalziehverfahren aus einer erweichten Quarzglasmasse kontinuierlich ein Rohrstrang gezogen wird, durch dessen Innenbohrung ein Spülgas im Durchfluss geleitet wird, das einen Wassergehalt von weniger als 100 Gew.­ppb hat, und wobei das vordere Ende des Rohrstrangs (19) von einem für das Spülgas durchlässigen Strömungshindernis (26) verschlossen ist, der den Durchfluss des Spülgases (23) vermindert.
(EN) Known synthetic quartz glass tubes for the production of a preform have an inner bore with a surface layer produced without using tools in the molten state and an inner zone. The aim of the invention is to provide a tube which does not release any OH groups to the surroundings. For this purpose, the surface layer (30) has a thickness of 10 $g(m)m and an average OH content of not more than 5 ppm by weight and an average surface roughness Ra of not more than 0.1 $g(m)m. The inner zone (34) that starts on the surface layer (30) and terminates 10 $g(m)m before the outer wall has an average OH content of not more than 0.2 ppm by weight. A simple and inexpensive method for producing a quartz tube of the above type is to continuously draw a tube strand from a softened quartz glass mass in a vertical drawing process. A scavenging gas is circulated through the inner bore of the tube, said gas having a water content of less than 100 ppb per weight. The front end of the tube strand (19) is closed by a flow obstacle (26) that is permeable to the scavenging gas and that reduces the amount of scavenging gas (23) flowing through.
(FR) Un tube classique en verre de quartz synthétique pour la fabrication d'une préforme possède un trou interne pourvu d'une couche superficielle produite sans outil à l'aide de matière fusée, et une zone interne. Selon la présente invention, afin que ledit tube ne libère pas de groupes OH dans l'environnement, la couche superficielle (30) possède une épaisseur de 10µm et possède à l'intérieur une teneur moyenne en OH de 5 ppm en poids au plus, ainsi qu'une rugosité moyenne de surface Ra de 0,1 µm au maximum, et la zone interne (34) commençant au niveau de la couche superficielle (30) et se terminant 10 $g(m)m avant la paroi extérieure possède une teneur moyenne en OH de 0,2 ppm en poids au plus. La présente invention concerne également un procédé simple et peu onéreux de production d'un tube de verre de quartz de ce type selon lequel un tube est étiré en continu à partir d'une masse de verre de quartz ramollie selon un procédé d'étirage vertical, un gaz de circulation à teneur en eau inférieure à 100 ppb en poids étant guidé en continu dans le trou interne du tube. L'extrémité avant du tube (19) est fermée par un obstacle d'écoulement perméable au gaz de circulation qui réduit l'écoulement dudit gaz de circulation (23).
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