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1. WO2004080914 - WÄRMESENKE MIT HOHER WÄRMELEITFÄHIGKEIT

Veröffentlichungsnummer WO/2004/080914
Veröffentlichungsdatum 23.09.2004
Internationales Aktenzeichen PCT/AT2004/000018
Internationales Anmeldedatum 20.01.2004
IPC
C22C 1/10 2006.01
CSektion C Chemie; Hüttenwesen
22Metallhüttenwesen; Eisenlegierungen oder Nichteisenlegierungen; Behandlung von Legierungen oder von Nichteisenmetallen
CLegierungen
1Herstellen von Nichteisen-Legierungen
10Legierungen mit nichtmetallischen Bestandteilen
C22C 26/00 2006.01
CSektion C Chemie; Hüttenwesen
22Metallhüttenwesen; Eisenlegierungen oder Nichteisenlegierungen; Behandlung von Legierungen oder von Nichteisenmetallen
CLegierungen
26Legierungen, die Diamant enthalten
H01L 23/373 2006.01
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
23Einzelheiten von Halbleiterbauelementen oder anderen Festkörperbauelementen
34Anordnungen zum Kühlen, Heizen, Belüften oder zur Temperaturkompensation
36Auswahl des Materials oder der Form, um die Kühlung oder Heizung zu erleichtern, z.B. Wärmesenken
373wobei die Kühlung durch das gewählte Material des Bauelements bewirkt wird
CPC
C04B 2235/3279
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
327Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
3279Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
C04B 2235/3826
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
38Non-oxide ceramic constituents or additives
3817Carbides
3826Silicon carbides
C04B 2235/40
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
40Metallic constituents or additives not added as binding phase
C04B 2235/402
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
40Metallic constituents or additives not added as binding phase
402Aluminium
C04B 2235/407
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
40Metallic constituents or additives not added as binding phase
407Copper
C04B 2235/408
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
40Metallic constituents or additives not added as binding phase
408Noble metals
Anmelder
  • PLANSEE AKTIENGESELLSCHAFT [AT]/[AT] (AllExceptUS)
  • LÜDTKE, Arndt [DE]/[AT] (UsOnly)
Erfinder
  • LÜDTKE, Arndt
Vertreter
  • LOHNERT, Wolfgang
Prioritätsdaten
GM 164/200311.03.2003AT
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) WÄRMESENKE MIT HOHER WÄRMELEITFÄHIGKEIT
(EN) HEAT SINK HAVING A HIGH THERMAL CONDUCTIVITY
(FR) DISSIPATEUR THERMIQUE A HAUTE CONDUCTIVITE THERMIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Die erfindung betrifft eine Wärmesenke aus einem diamanthaltigen Verbundwerkstoff. Neben einem Diamantanteil von 40-90 Vol.% enthält der Verbundwerkstoff 0,005 bis 12 Vol.% einer Silizium Kohlenstoffverbindung, 7 bis 49 Vol.% einer Ag-, Au- oder Al-reichen Phase und kleiner 5 Vol.% einer weiteren Phase, wobei das Volumenverhältnis der Ag-, Au- oder Al-reichen Phase zu Siliziumkarbid grösser 4 ist und zumindest 60 % der Diamantoberfläche von der Silizium Kohlenstoffverbindung bedeckt ist. Bevorzugte Herstellverfahren umfassen drucklose und druckunterstützte Infiltrationstechniken. Der Bauteil eignet sich insbesondere als Wärmesenke für Halbleiterkomponenten.
(EN)
The invention relates to a heat sink comprised of a diamond-containing composite material. In addition to having a diamond proportion of 40 to 90 % by volume, the composite material contains 0.005 to 12 % by volume of a silicon carbon compound, 7 to 49 % by weight of an Ag-rich, Au-rich or Al-rich phase, and less than 5 % by volume of another phase, whereby the volume ratio of the Ag-rich, Au-rich or Al-rich phase to silicon carbide is greater than 4, and at least 60 % of the surface of the diamond is covered by the silicon carbon compound. Preferred production methods involve pressureless and pressure-assisted infiltration techniques. This part is suited for use, in particular, as a heat sink for semiconductor components.
(FR)
L'invention concerne un dissipateur thermique constitué d'un matériau composite à base de diamant, la proportion de diamant étant comprise entre 40 et 90 % en volume. Ledit matériau composite comprend en outre 0,005 à 12 % en volume d'un composé silicium-carbone, 7 à 49 % en volume d'une phase riche en Ag, Au ou Al et moins de 5 % en volume d'une autre phase, le rapport volumique entre la phase riche en Ag, Au ou Al et le carbure de silicium étant supérieur à 4 et le composé silicium-carbone recouvrant au moins 60 % de la surface du diamant. Les procédés de production utilisés sont de préférence des techniques d'infiltration avec ou sans pression. Ce dissipateur thermique peut être utilisé en particulier pour des composants à semi-conducteurs.
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