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1. (WO2004080885) MEMBRANSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2004/080885 Internationale Anmeldenummer PCT/DE2004/000295
Veröffentlichungsdatum: 23.09.2004 Internationales Anmeldedatum: 18.02.2004
IPC:
G01F 1/684 (2006.01) ,G01L 9/00 (2006.01) ,G01N 7/10 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
F
Messen des Volumens, des Durchflussvolumens, des Massendurchflusses oder des Füllstandes; volumetrische Mengenmessung
1
Messen des Volumen- oder Massendurchflusses eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes, wobei das Fluid in einem ständigen Fluss durch das Instrument fließt
68
mittels thermischer Effekte
684
Bauliche Anordnungen; Anbringung der Bauteile, z.B. in Bezug auf die Strömung des Fluids
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
7
Analysieren von Stoffen durch Messen des Druckes oder des Volumens eines Gases oder Dampfes
10
durch Diffusion von Bestandteilen durch eine poröse Wand und Messen eines Druck- oder Volumenunterschiedes
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE (AllExceptUS)
MUELLER-FIEDLER, Roland [DE/DE]; DE (UsOnly)
HECHT, Hans [DE/DE]; DE (UsOnly)
MUCHOW, Joerg [DE/DE]; DE (UsOnly)
FUERTSCH, Matthias [DE/DE]; DE (UsOnly)
STRATMANN, Andreas [DE/DE]; DE (UsOnly)
WEBER, Heribert [DE/DE]; DE (UsOnly)
BERNHARD, Winfried [DE/DE]; DE (UsOnly)
GRUEN, Detlef [DE/DE]; DE (UsOnly)
DUELL, Andreas [DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHINK, Rainer [DE/DE]; DE (UsOnly)
WAGNER, Ulrich [DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHELLING, Christoph [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
MUELLER-FIEDLER, Roland; DE
HECHT, Hans; DE
MUCHOW, Joerg; DE
FUERTSCH, Matthias; DE
STRATMANN, Andreas; DE
WEBER, Heribert; DE
BERNHARD, Winfried; DE
GRUEN, Detlef; DE
DUELL, Andreas; DE
SCHINK, Rainer; DE
WAGNER, Ulrich; DE
SCHELLING, Christoph; DE
Allgemeiner
Vertreter:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
103 10 859.911.03.2003DE
103 26 786.713.06.2003DE
103 57 869.211.12.2003DE
Titel (DE) MEMBRANSENSOR
(EN) MEMBRANE SENSOR
(FR) CAPTEUR A MEMBRANE
Zusammenfassung:
(DE) Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um einen mikromechanischen Sensor bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors, der wenigstens eine Membran aufweist. Die Membran wird dabei so aus einem ersten Material hergestellt, dass sie zur Sensierung eines sie umgebenden Mediums in einem zweiten Material untergebracht ist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass die Membran wenigstens teilweise durch ein drittes Material an bruchempfindlichen Stellen am Membranrand verstärkt ist. Durch die Verstärkung des Membranrands wird die Stabilität und somit auch die Lebensdauer der Membran bzw. des Sensors erhöht.
(EN) The invention relates to a micromechanical sensor and to a method for producing a micromechanical sensor that has at least one membrane. The membrane is made of a first material whereby, in order to sense a medium surrounding it, this membrane is accommodated in a second material. The invention is characterized in that the membrane is reinforced, at least in part, by a third material at breakable locations on membrane edge. Reinforcement of the membrane edge increases the stability and thus the serviceable life of the membrane and of the sensor.
(FR) La présente invention concerne un capteur micromécanique et un procédé de production de ce capteur, ledit capteur comprenant au moins une membrane. Cette membrane est réalisée dans un premier matériau et elle est placée dans un deuxième matériau de façon à détecter un milieu entourant ladite membrane. L'invention se caractérise en ce que cette membrane est renforcée au moins partiellement au moyen d'un troisième matériau au niveau de points fragiles du bord de la membrane. Le renforcement du bord de la membrane permet d'accroître la stabilité et par là même la durée de vie de la membrane et du capteur.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP1604177JP2006516327US20060197634