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1. (WO2004079771) DREIDIMENSIONALE ABBILDUNG DER CHEMISCHEN OBERFLÄCHENZUSAMMENSETZUNG VON OBJEKTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2004/079771 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/DE2004/000455
Veröffentlichungsdatum: 16.09.2004 Internationales Anmeldedatum: 08.03.2004
IPC:
G01N 23/225 (2006.01) ,H01J 37/252 (2006.01) ,H01J 49/14 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
23
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung von Wellen- oder Teilchenstrahlung, soweit nicht von G01N21/ oder G01N22/177
22
durch Messen der Sekundäremission
225
unter Verwendung einer Elektronen- oder Ionenmikrosonde
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37
Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
252
Röhren zum Punktanalysieren durch Elektronen- oder Ionenstrahlen oder -strahlenbündel; Mikroanalysatoren
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
49
Teilchenspektrometer oder -trennröhren
02
Einzelheiten
10
Ionenquellen; Ionenkanonen
14
unter Verwendung von Teilchenbeschuss, z.B. Ionisationskammern
Anmelder:
JUSTUS-LIEBIG-UNIVERSITÄT GIESSEN [DE/DE]; Ludwigstrasse 23 35390 Giessen, DE (AllExceptUS)
SPENGLER, Bernhard [DE/DE]; DE (UsOnly)
BOUSCHEN, Werner [DE/DE]; DE (UsOnly)
HINZ, Klaus-Peter [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
SPENGLER, Bernhard; DE
BOUSCHEN, Werner; DE
HINZ, Klaus-Peter; DE
Allgemeiner
Vertreter:
TRANSMIT GESELLSCHAFT FÜR TECHNOLOGIETRANSFER MBH; Kerkrader Strasse 3 35394 Giessen, DE
Prioritätsdaten:
103 10 518.209.03.2003DE
Titel (DE) DREIDIMENSIONALE ABBILDUNG DER CHEMISCHEN OBERFLÄCHENZUSAMMENSETZUNG VON OBJEKTEN
(EN) THREE-DIMENSIONAL IMAGING OF THE CHEMICAL SURFACE COMPOSITIONS OF OBJECTS
(FR) REPRESENTATION TRIDIMENSIONNELLE DE LA COMPOSITION CHIMIQUE DE LA SURFACE D'OBJETS
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren, um die chemische Zusammensetzung und die dreidimensionale Struktur von chemischen und biologischen Proben zu messen, die Messdaten auszuwerten und anschließend graphisch darzustellen. Überraschend und im Widerspruch zum Stand der Technik wurde gefunden, dass es mit Hilfe der erfindungsgemäßen, optimierten SIMS-Anordnung (22, 24, 25, 20; 5, 6, 8) möglich ist, eine Abhängigkeit der Flugzeit beziehungsweise der kinetischen Energie vom Entstehungsort der Ionen in z-Richtung zu erzeugen, die größer ist als die Abhängigkeit der Flugzeiten beziehungsweise der kinetischen Energien von den Anfangsenergieverteilungen. Damit ist es erstmals möglich, alle drei Raumrichtungen (karthesische Koordinaten x, y und z) des Herkunftsortes eines Ions zu bestimmen. Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Auswertungsverfahrens ist es außerdem möglich, diese Ortsinformationen in bildliche Darstellungen umzusetzen.
(EN) The invention relates to a device and method for measuring the chemical composition and three-dimensional structure of chemical and biological samples, evaluating the measuring data and for subsequently representing it graphically. Suprisingly, it was ascertained counter to prior art that it is possible with the aid of the inventive optimized zone source to achieve dependency of the flying time or kinetic energy of ions in direction z upon the place of origin, said dependency being greater than the dependency of the flying times or kinetic energy of the initial energy distributions. As a result, it is possible, for the first time, to determine all three spatial directions (cartesian coordinates x, y and z). The inventive evaluation method also makes it possible to convert said local information into graphic representations.
(FR) L'invention concerne un dispositif et un procédé pour mesurer la composition chimique et la structure tridimensionnelle d'échantillons chimiques et biologiques, pour analyser les données de mesures et pour en faire une représentation graphique. Contrairement à l'état de la technique actuelle, on a constaté que la source d'ions optimisée selon la présente invention permet de créer une dépendance entre le temps de vol ou l'énergie cinétique et le lieu de genèse des ions dans une direction z, cette dépendance étant supérieure à celle existant entre les temps de vol ou les énergies cinétiques et les distributions d'énergie initiales. Ainsi, il est pour la première fois possible de déterminer les trois directions dans l'espace (coordonnées cartésiennes x, y et z) du lieu de provenance d'un ion. Le procédé d'analyse de l'invention permet en outre de convertir ces informations de localisation en représentations graphiques.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)