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1. (WO2004077531) VORRICHTUNG ZUM BERÜHRUNGSARMEN GREIFEN, HALTEN UND AUSRICHTEN VON BERÜHRUNGSEMPFINDLICHEN FLACHBAUTEILEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2004/077531 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/DE2004/000342
Veröffentlichungsdatum: 10.09.2004 Internationales Anmeldedatum: 25.02.2004
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 24.09.2004
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
677
zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
68
zum Positionieren, Orientieren oder Justieren
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683
zum Aufnehmen oder Greifen
687
mit mechanischen Mitteln, z.B. Halte-, Klemm- oder Pressvorrichtungen
Anmelder:
TECHNISCHE UNIVERSITÄT MÜNCHEN [DE/DE]; Arcisstrasse 21 80333 München, DE (AllExceptUS)
ZIMMERMANN, Josef [DE/DE]; DE (UsOnly)
ZITZMANN, Adolf [DE/DE]; DE (UsOnly)
BRISKI, Bostjan [SI/SI]; SI (UsOnly)
Erfinder:
ZIMMERMANN, Josef; DE
ZITZMANN, Adolf; DE
BRISKI, Bostjan; SI
Vertreter:
SCHWEIZER, Joachim; Dieselstrasse 1 80993 München, DE
Prioritätsdaten:
103 08 250.625.02.2003DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUM BERÜHRUNGSARMEN GREIFEN, HALTEN UND AUSRICHTEN VON BERÜHRUNGSEMPFINDLICHEN FLACHBAUTEILEN
(EN) DEVICE FOR GRIPPING, RETAINING AND ORIENTING CONTACT-SENSITIVE FLAT COMPONENTS INVOLVING LITTLE CONTACT THEREWITH
(FR) DISPOSITIF POUR SAISIR, MAINTENIR ET ORIENTER AVEC UN FAIBLE CONTACT DES COMPOSANTS PLATS SENSIBLES AUX CONTACTS
Zusammenfassung:
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungsarmen Greifen, Halten und Ausrichten von Flachbauteilen (1), wobei die Vorrichtung nachfolgende Merkmale aufweist: eine Basisplatte (2); eine Halteplatte (3); wobei die Basisplatte (2) einen Vorsprung (4) aufweist; und die Halteplatte (3) eine Ausnehmung (5) aufweist, durch die der Vorsprung (4) ragt, wobei die Oberkante des Vorsprungs (4) in der Ebene der Oberfläche der Halteplatte (3) liegt; Schwingungserzeugungsmittel (6) zum Erzeugen von Schwingungen der 20 Basisplatte (2) die geeignet sind, das auf der Halteplatte (2) liegende Flachbauteil (1) in einem Schwebezustand zu halten; eine steuerbare Haltevorrichtung (7), um das Flachbauteil (1) an seinen Kanten zu fixieren; und eine Antriebsvorrichtung (8a, b) zum Bewegen der Halteplatte (2) in eine vorbestimmte Richtung oder Orientierung.
(EN) The invention relates to a device for gripping, retaining and orienting contact-sensitive flat components (1) involving little contact therewith. To this end, the device comprises the following features: a base plate (2); a retaining plate (3), whereby; the base plate (2) has a projection (4), and; the retaining plate (3) has a recess (5) though which the projection (4) projects, whereby the upper edge of the projection (4) lies in the plane of the surface of the retaining plate (3); oscillation generating means (6) provided for generating oscillations on the base plate (2) and suited for holding a flat component (1), which lies on the retaining plate, in a floating state; a controllable retaining device (7) for fixing the flat component (1) at the edges thereof, and; a drive device (8a, b) for displacing the retaining plate (2) in a predetermined direction or orientation.
(FR) La présente invention concerne un dispositif pour saisir, maintenir et orienter avec un faible contact des composants plats (1). Ce dispositif présente les caractéristiques suivantes : il comporte une plaque de base (2) et une plaque de maintien (3), ladite plaque de base (2) présentant une saillie (4) qui traverse un évidement (5) de la plaque de maintien (3), le bord supérieur de la saillie (4) se trouvant dans le plan de la surface de la plaque de maintien (3) ; il comporte en outre un moyen de génération de vibrations (6), qui sert à générer des vibrations de la plaque de base (2) pouvant maintenir en sustentation le composant plat (1) se trouvant sur la plaque de maintien (2) ; et il comporte également un dispositif de maintien (7) commandé, servant à bloquer par son bord le composant plat (1), ainsi qu'un dispositif d'entraînement (8a, 8b) servant à déplacer la plaque de maintien (2) dans un sens prédéterminé ou à lui donner une orientation prédéterminée.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)