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1. (WO2004075204) MESSANORDNUNG ZUR KOMBINIERTEN ABTASTUNG UND UNTERSUCHUNG VON MIKROTECHNISCHEN, ELEKTRISCHE KONTAKTE AUFWEISENDEN BAUELEMENTEN
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Veröff.-Nr.: WO/2004/075204 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/DE2004/000311
Veröffentlichungsdatum: 02.09.2004 Internationales Anmeldedatum: 16.02.2004
IPC:
B81B 1/00 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G01Q 10/06 (2010.01) ,G01Q 20/04 (2010.01) ,G01Q 60/30 (2010.01) ,G01Q 60/38 (2010.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
1
Bauelemente ohne bewegliche oder flexible Bestandteile, z.B. Bauelemente mit Mikrokapillaren
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3
Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
10
Abtast- oder Positionieranordnungen, d.h. Anordnungen zur aktiven Steuerung der Bewegung oder der Position der Sonde
04
Feines Abtasten (Scannen) oder Positionieren
06
Schaltungen oder Algorithmen hierfür
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
20
Überwachung der Bewegung oder der Position der Sonde
04
Selbst-detektierende Sonden, d.h. die Sonde selbst erzeugt ein für ihre Position repräsentatives Signal, z.B. piezoelektrische Sensoren
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
60
Besondere Arten der Rastersondenmikroskopie [SPM] oder Vorrichtungen hierfür; wesentliche Bestandteile hiervon
24
Kraftmikroskopie [Atomic Force Microscopy = AFM] und Vorrichtungen hierfür, z.B. AFM-Sonden
30
Potential-Rastermikroskopie
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
60
Besondere Arten der Rastersondenmikroskopie [SPM] oder Vorrichtungen hierfür; wesentliche Bestandteile hiervon
24
Kraftmikroskopie [Atomic Force Microscopy = AFM] und Vorrichtungen hierfür, z.B. AFM-Sonden
38
Sonden, deren Herstellung und zugehörige Geräte, z.B. Halterungen
Anmelder:
SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Süss-Strasse 1 01561 Sacka, DE (AllExceptUS)
ENG, Lukas, M. [DE/DE]; DE (UsOnly)
RANGELOW, Ivo [BG/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
ENG, Lukas, M.; DE
RANGELOW, Ivo; DE
Vertreter:
LIPPERT, STACHOW, SCHMIDT & PARTNER; Krenkelstrasse 3 01309 Dresden, DE
Prioritätsdaten:
103 07 561.519.02.2003DE
Titel (DE) MESSANORDNUNG ZUR KOMBINIERTEN ABTASTUNG UND UNTERSUCHUNG VON MIKROTECHNISCHEN, ELEKTRISCHE KONTAKTE AUFWEISENDEN BAUELEMENTEN
(EN) MEASURING SYSTEM FOR THE COMBINED SCANNING AND ANALYSIS OF MICROTECHNICAL COMPONENTS COMPRISING ELECTRICAL CONTACTS
(FR) DISPOSITIF DE MESURE POUR LA PALPATION ET L'EXAMEN COMBINES DE COMPOSANTS MICROTECHNIQUES PRESENTANT DES CONTACTS ELECTRIQUES
Zusammenfassung:
(DE) Es wird eine Messanordnung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen, elektrische Kontakte aufweisenden Bauelementen (17) beschrieben. Die Messanordnung enthält einen Cantilever (1) mit einer elektrisch leitenden Probenspitze (4), einen in den Cantilever (1) integrierten, piezoresistiven Sensor (5) und einen im Bereich der Probenspitze (4) angeordneten Heizdraht-Aktuator (6). Der Heizdraht-Aktuator (6) dient dem Zweck, die Probenspitze (4) bei der Durchführung von Abtastungen in mechanische Schwingungen zu versetzen, und kann bei der Durchführung von Untersuchungen zur Herstellung einer vorgewählten Auflagekraft verwendet werden, mit der die Probenspitze (4) auf dem Bauelement (17) aufliegt. Der Sensor (5) wird bei der Abtastung nach dem AFM-Verfahren zur Konstanthaltung des Abstands zwischen der Probenspitze (4) und der Oberfläche (16) des Bauelements (17) verwendet, während er bei der Durchführung von Untersuchungen dazu dient, die Auflagekraft der Probenspitze (4) auf dem Bauelement (17) zu messen und/oder mit Hilfe des Heizdraht-Aktuators (6) einzustellen. Ausserdem beschreibt die Erfindung eine mit einer solchen Messanordnung ausgerüstete Vorrichtung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen Bauelementen (Fig. 6).
(EN) The invention relates to a measuring system for the combined scanning and analysis of microtechnical components (17) comprising electrical contacts. Said measuring system contains a cantilever (1) with an electrically conductive probe tip (4), a piezoresistive sensor (5) that is integrated into the cantilever (1) and a heating-wire actuator (6) that is located in the vicinity of the probe tip (4). The heating-wire actuator (6) induces mechanical oscillations in the probe tip (4) during scanning operations and can be used during the analyses to produce a preselected tracking force, with which the probe tip (4) lies on the component (17). The sensor (5) is used during the scanning operation according to AFM methods to maintain a constant distance between the probe tip (4) and the surface (16) of the component (17) and during the analyses to measure the tracking force of the probe tip (4) on the component (17), and/or to adjust said force with the aid of the heating-wire actuator (6). The invention also relates to a device equipped with a measuring system of this type for the combined scanning and analysis of microtechnical components.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure pour la palpation et l'examen combinés de composants (17) microtechniques présentant des contacts électriques. Ce dispositif de mesure contient un porte-à-faux (1) pourvu d'une pointe de sondage (4) électroconductrice, un capteur (5) piézo-résistif intégré au porte-à-faux (1) et un actionneur à fil chaud (6) disposé dans la zone de la pointe de sondage (4). L'actionneur à fil chaud (6) sert à mettre en vibration mécanique la pointe de sondage (4) pendant la palpation et peut, pendant la réalisation d'examens, être utilisé pour générer une force d'appui présélectionnée avec laquelle la pointe de sondage (4) repose sur le composant (17). Le capteur (5) est utilisé lors de la palpation selon le procédé de microscopie à force atomique (AFM) pour le maintien d'un écart constant entre la pointe de sondage (4) et la surface (16) du composant (17), tandis que lors de la réalisation d'examen, il sert à mesurer la force d'appui de la pointe de sondage (4) sur le composant (17) et/ou à la régler à l'aide de l'actionneur à fil chaud (6). L'invention concerne en outre un dispositif pourvu du dispositif selon l'invention, pour la palpation et l'examen combinés de composants microtechniques (figure 6).
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Also published as:
US20060238206