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1. (WO2004044656) VERFAHREN ZUM SPÜLEN EINER OPTISCHEN LINSE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2004/044656    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE2003/003720
Veröffentlichungsdatum: 27.05.2004 Internationales Anmeldedatum: 10.11.2003
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    14.06.2004    
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53, 81669 München (DE) (For All Designated States Except US).
SCHEDEL, Thorsten [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHMIDT, Sebastian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HRASCHAN, Günter [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SCHEDEL, Thorsten; (DE).
SCHMIDT, Sebastian; (DE).
HRASCHAN, Günter; (DE)
Vertreter: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; P.O. Box 200734, 80007 München (DE)
Prioritätsdaten:
102 53 162.5 14.11.2002 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUM SPÜLEN EINER OPTISCHEN LINSE
(EN) METHOD FOR WASHING AN OPTICAL LENS
(FR) PROCEDE DE RINÇAGE D'UNE LENTILLE OPTIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Mittels eines Gerätes (60) zur Bestimmung von Anteilen einer Substanz in einem Gas oder Gasgemisch werden Messungen an dem Gas oder Gasgemisch zum Spülen einer Linse (10) in einem Projektionsapparat (41) für die Projektion von Strukturen auf ein Substrat (100) durchgeführt. Dabei werden die Resultate einer ersten Messung an dem der Linse (10) zugeführten Gas mit den Resultaten einer Messung des von der Linse (10) abgeführten Gases miteinander verglichen. Handelt es sich insbesondere um eine kontaminierende Substanz, die zu einer Abscheidung auf der Linse (10) unter dem Einfluß hochenergetischer Strahlung durch eine Beleuchtungsquelle (14) führt, so kann aus der Differenz auf nachteilhaft zu der Abscheidung führende photochemische Reaktionen an der Oberfläche der Linse (10) geschlossen werden. Ein Signal wird infolge des Vergleiches generiert, mit dem vorbeugende Maßnahmen gegen eine Degradation der Linse (10) getroffen werden können. Als Meßgeräte (60) können Massenspektrometer, elektrische oder optische Sensoren sowie weitere bekannte Verfahren zur Substanzanalyse eingesetzt werden.
(EN)A device (60) for determining the constituents of a substance in a gas or gas mixture performs measurements on the gas or gas mixture used for washing a lens (10) in a projection apparatus (41) for projecting structures onto a substrate (100). The results of a first measurement performed on the gas fed to the lens (10) and the results of a measurement performed on the gas led away from the lens are compared to one another. If a substance is involved that, in particular, is one that contaminates, whereby leading to the formation of deposits on the lens (10) under the influence of high-energy radiation emitted by a light source (14), photochemical reactions, which adversely lead to the formation of deposits on the surface of the lens (10) can be inferred from the difference ensuing from said comparison. A signal is generated as a result of the comparison and can be used to take preventive measures against a degradation of the lens (10). Measuring devices (60), which can be mass spectrometers, electric or optical sensors, and other known methods can be used for performing substance analysis.
(FR)Selon l'invention, un appareil (60) destiné à déterminer des fractions d'une substance dans un gaz ou un mélange gazeux, sert à effectuer des mesures sur un gaz ou un mélange gazeux destiné au nettoyage d'une lentille (10) d'un appareil de projection (41) conçu pour projeter des structures sur un substrat (100). Les résultats d'une première mesure effectuée sur le gaz acheminé vers la lentille (10) sont comparés au résultat d'une mesure effectuée sur le gaz quittant la lentille (10). Dans le cas d'une substance contaminante provoquant un dépôt sur la lentille (10) sous l'effet d'un rayonnement fortement énergétique provenant d'une source d'éclairage, la différence desdits résultats permet de déduire que des réactions photochimiques indésirables se sont produites à la surface de la lentille (10). Un signal est produit à la suite de la comparaison de manière à prendre des mesures préventives contre une dégradation de la lentille (10). Les appareils de mesure (60) peuvent être des spectromètres de masse, des capteurs électriques ou optiques, et faire intervenir d'autres procédés connus d'analyse de substances.
Designierte Staaten: JP, KR, US.
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)