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1. (WO2003081712) GITTERELEMENT ZUM FILTERN VON WELLENLÄNGEN ≤ 100NM
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/081712    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2003/002419
Veröffentlichungsdatum: 02.10.2003 Internationales Anmeldedatum: 10.03.2003
IPC:
G02B 5/18 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
HEIDEMANN, Klaus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
OSTERRIED, Karlfried [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: HEIDEMANN, Klaus; (DE).
OSTERRIED, Karlfried; (DE)
Vertreter: WEITZEL & PARTNER; Friedenstrasse 10, 89522 Heidenheim (DE)
Prioritätsdaten:
102 12 691.7 21.03.2002 DE
Titel (DE) GITTERELEMENT ZUM FILTERN VON WELLENLÄNGEN ≤ 100NM
(EN) GRATING ELEMENT FOR FILTERING WAVELENGTHS ≤ 100NM
(FR) ELEMENT EN RESEAU POUR FILTRER DES LONGUEURS D'ONDE = 100 NM
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Gitterelement zum Filtern von Wellenlängen ≤ 100 nm mit einer Vielzahl von Einzelgitterelementen, wobei die Einzelgitterelemente Gitterli­nien, ergebend eine Gitterperiodizität, aufweisen. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Einzelgitterelemente in Rich­tung der Strahlen eines Strahlbüschels, das auf das Gitterelement auftrifft, hinter­einander auf einer gekrümmten Trägerfläche relativ zu der durch das Gitterele­ment aufgespannten Ebene angeordnet sind.
(EN)The invention relates to a grating element for filtering wavelengths ≤ 100 nm, comprising a plurality of individual grating elements, which have grating lines that produce a grating periodicity. The invention is characterised in that the individual grating elements are arranged one behind the other in the direction of the beams of a beam bundle, which strikes the grating element, on a curved surface in relation to the plane that is fixed by the grating element.
(FR)L'invention concerne un élément en réseau servant à filtrer des longueurs d'onde inférieures ou égales à 100 nm. Cet élément comprend une pluralité d'éléments individuels en réseau comportant des lignes de réseau produisant une périodicité de réseau. L'invention se caractérise en ce que les éléments individuels en réseau sont disposés les uns derrière les autres, dans le sens des rayons d'un faisceau de rayons incidents sur l'élément en réseau, sur une surface porteuse courbe par rapport au plan défini par l'élément en réseau.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)