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1. (WO2003081194) DRUCKSENSOR, INSBESONDERE ZUR KAPAZITIVEN BESTIMMUNG DES ABSOLUTDRUCKS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/081194    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2003/002829
Veröffentlichungsdatum: 02.10.2003 Internationales Anmeldedatum: 18.03.2003
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    31.07.2003    
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
Anmelder: NORD-MICRO AG & CO. OHG [DE/DE]; Victor-Slotosch-Strasse 20, 60388 Frankfurt / Main (DE) (For All Designated States Except US).
SINGPIEL, Roland [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SINGPIEL, Roland; (DE)
Vertreter: PREISSNER, Nicolaus; FLÜGEL PREISSNER KASTEL, Haimhauserstrasse 1, München 80802 (DE)
Prioritätsdaten:
102 12 947.9 22.03.2002 DE
Titel (DE) DRUCKSENSOR, INSBESONDERE ZUR KAPAZITIVEN BESTIMMUNG DES ABSOLUTDRUCKS
(EN) PRESSURE SENSOR, ESPECIALLY FOR THE CAPACITIVE DETERMINATION OF ABSOLUTE PRESSURE
(FR) CAPTEUR DE PRESSION DESTINE NOTAMMENT A LA DETERMINATION CAPACITIVE DE LA PRESSION ABSOLUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Ein Drucksensor, insbesondere zur kapazitiven Bestimmung des Absolutdrucks, ist mit einem Grundkörper (10), der wenigstens eine Elektrode (11a, 11b; 12a, 12b) aufweist, und mit einer Membran (20) versehen. Die Membran (20) ist durch einen Abstandhalter (30) von dem Grundkörper (10) getrennt und weist zum Erzeugen eines elektrischen Felds zwischen Grundkörper (10) und Membran (20) wenigstens eine Gegenelektrode (21a, 21b; 22a, 22b) auf. Sowohl der Grundkörper als auch die Membran (20) sind aus einem keramischen Werkstoff gefertigt. Die Membran (20) ist an einem aus einem keramischen Werkstoff gefertigten Trägerkörper angeordnet und durch einen Stoffschluß, der frei von Zusatzwerkstoffen ist, mit dem Trägerkörper (40) verbunden ist. Der Drucksensor ist durch eine Meßzelle (50) gekennzeichnet, die aus dem Grundkörper (10), der Membran (20), dem Abstandhalter (30) und dem Trägerkörper (40) zusammengesetzt und in einem hermetischen Gehäuse (60) angeordnet ist, wobei an dem Grundkörper (10) eine kapazitive Änderungen der Meßzelle (50) erfassende Auswerteeinrichtung (70) angeordnet ist, die einen die Temperatur der Meßzelle (50) erfassenden Sensor aufweist.
(EN)The invention relates to a pressure sensor which is especially used for the capacitive determination of absolute pressure and is provided with a base body (10) comprising at least one electrode (11a, 11b; 12a, 12b), and a membrane (20). Said membrane (20) is separated from the base body (10) by means of a spacer (30) and comprises at least one counter-electrode (21a, 21b; 22a, 22b) for generating an electrical field between the base body (10) and the membrane (20). Both the base body and the membrane (20) consist of a ceramic material. The membrane (20) is arranged on a carrier body consisting of a ceramic material and is connected to said carrier body (40) by means of a material connection which is free of filler materials. The inventive pressure sensor is characterised by a measuring cell (50) consisting of the base body (10), the membrane (20), the spacer (30) and the carrier body (40), and is arranged in a hermetic housing (60). An evaluation device (70) used to detect capacitive changes of the measuring cell (50) is arranged on the base body (10) and comprises a sensor for detecting the temperature of the measuring cell (50).
(FR)La présente invention concerne un capteur de pression destiné notamment à la détermination capacitive de la pression absolue, qui comprend un corps de base (10) qui présente au moins une électrode (11a, 11b; 12a, 12b) et une membrane (20). La membrane (20) est séparée du corps de base (10) par un élément d'espacement (30) et présente au moins une contre-électrode (21a, 21b; 22a, 22b) qui sert à produire un champ électrique entre le corps de base (10) et la membrane (20). Le corps de base et la membrane (20) sont tous deux constitués d'un matériau céramique. La membrane (20) est disposée contre un corps de support en matériau céramique et reliée au corps de support (40) par une liaison de matière qui ne contient pas de matériaux additifs. Le capteur de pression se caractérise par une cellule de mesure (50) qui se compose du corps de base (10), de la membrane (20), de l'élément d'écartement (30) et du corps de support (40), et est mise en place dans un boîtier hermétique (60), un système d'interprétation (70) qui présente un capteur détectant la température de la cellule de mesure (50) et qui détecte les modifications capacitives de la cellule de mesure (50), étant disposé contre le corps de base (10).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)