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1. (WO2003063210) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KONDENSATORS IN EINER DIELEKTRIKUMSCHICHT

Pub. No.:    WO/2003/063210    International Application No.:    PCT/EP2003/000671
Publication Date: 31.07.2003 International Filing Date: 23.01.2003
IPC: H01L 21/02
H01L 21/321
H01L 21/3213
H01L 21/768
H01L 27/08
Applicants: INFINEON TECHNOLOGIES AG
GOLLER, Klaus
Inventors: GOLLER, Klaus
Title: VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KONDENSATORS IN EINER DIELEKTRIKUMSCHICHT
Abstract:
Bei einem Verfahren zum Herstellen eines Kondensators (92) in einer ersten Dielektrikumschicht (20) wird eine Ausnehmung (40) in einer Oberfläche (22) der ersten Dielektrikumschicht (20) gebildet. Auf der Oberfläche (22) der ersten Dielektrikumschicht (20) und in der Ausnehmung (40) wird eine erste leitfähige Schicht (60) gebildet. Auf der ersten leitfähigen Schicht (60) wird eine zweite Dielektrikumschicht (70) gebildet, wobei die Summe einer Dicke der ersten leitfähigen Schicht (60) und einer Dicke der zweiten Dielektrikumschicht (70) in der Ausnehmung (40) kleiner ist als eine Tiefe der Ausnehmung (40). Auf der zweiten Dielektrikumschicht (70) wird eine zweite leitfähige Schicht (80) gebildet. Durch Planarisieren der so gebildeten Schichtstruktur erhält man einen Kondensator.