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1. (WO2003058811) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TOPOLOGIEOPTIMIERTEN ELEKTRODE FÜR EINEN RESONATOR IN DÜNNFILMTECHNOLOGIE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/058811    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2002/014190
Veröffentlichungsdatum: 17.07.2003 Internationales Anmeldedatum: 12.12.2002
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    11.08.2003    
IPC:
H03H 3/02 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53, 81669 München (DE) (For All Designated States Except US).
AIGNER, Robert [AT/DE]; (DE) (For US Only).
ELBRECHT, Lueder [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MARKSTEINER, Stephan [AT/DE]; (DE) (For US Only).
NESSLER, Winfried [AT/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: AIGNER, Robert; (DE).
ELBRECHT, Lueder; (DE).
MARKSTEINER, Stephan; (DE).
NESSLER, Winfried; (DE)
Vertreter: SCHOPPE, Fritz; Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, Postfach 246, 82043 Pullach b. München (DE).
ZIMMERMANN, Tankred; Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, Postfach 246, 82043 Pullach bei München (DE)
Prioritätsdaten:
102 00 741.1 11.01.2002 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TOPOLOGIEOPTIMIERTEN ELEKTRODE FÜR EINEN RESONATOR IN DÜNNFILMTECHNOLOGIE
(EN) METHOD FOR PRODUCING A TOPOLOGY-OPTIMIZED ELECTRODE FOR A THIN FILM RESONATOR
(FR) PROCEDE POUR LA PRODUCTION D'UNE ELECTRODE A TOPOLOGIE OPTIMISEE POUR UN RESONATEUR EN TECHNOLOGIE A COUCHE MINCE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei einem Verfahren zur Herstellung einer Elektrode (106) für einen Resonator in Dünnfilmtechnologie, wird die Elektrode (106) des Resonators in einer isolierenden Schicht (126) derart eingebettet, dass eine Oberfläche (110) der Elektrode (106) freiliegt, und dass eine durch die Elektrode (106) und die isolierende Schicht (126) festgelegte Oberfläche im wesentlichen planar ist.
(EN)The invention relates to a method for producing an electrode (106) for a thin film resonator. Said electrode (106) is embedded in an insulating layer (126) of the resonator in such a manner that a surface (110) of the electrode is exposed and that the surface defined by the electrode (106) and the insulating layer (126) is substantially planar.
(FR)L'invention concerne un procédé pour la production d'une électrode (106) destinée à un résonateur en technologie à couche mince. Selon le procédé de l'invention, l'électrode (106) du résonateur est intégrée dans une couche isolante (126) de sorte qu'une surface (110) de l'électrode (106) est dégagée et qu'une surface définie par l'électrode (106) et la couche isolante (126) est pratiquement plane.
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)