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1. (WO2003057618) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER SCHUTZABDECKUNG FÜR EIN BAUELEMENT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/057618    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2002/014194
Veröffentlichungsdatum: 17.07.2003 Internationales Anmeldedatum: 12.12.2002
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    11.08.2003    
IPC:
B81B 7/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01), H03H 3/02 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St. -Martin-Str. 53, 81669 München (DE) (For All Designated States Except US).
AIGNER, Robert [AT/DE]; (DE) (For US Only).
FRANOSCH, Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MECKES, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
OPPERMANN, Klaus-Guenter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STRASSER, Marc [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: AIGNER, Robert; (DE).
FRANOSCH, Martin; (DE).
MECKES, Andreas; (DE).
OPPERMANN, Klaus-Guenter; (DE).
STRASSER, Marc; (DE)
Vertreter: SCHOPPE, Fritz; Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, Postfach 246, 82043 Pullach b. München (DE).
ZIMMERMANN, Tankred; Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, Postfach 246, 82043 Pullach bei München (DE)
Prioritätsdaten:
102 00 869.8 11.01.2002 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER SCHUTZABDECKUNG FÜR EIN BAUELEMENT
(EN) METHOD FOR PRODUCING A PROTECTIVE COVERING FOR A COMPONENT
(FR) PROCEDE POUR FABRIQUER UNE COUVERTURE DE PROTECTION POUR UN COMPOSANT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei einem Verfahren zum Erzeugen einer Schutzabdeckung für ein Bauelement, bei dem ein Substrat (102) vorgesehen ist, welches das Bauelement umfasst, wird zunächst eine Opferstruktur auf dem Substrat (102) erzeugt. Die Opferstruktur bedeckt zumindest einen Bereich des Substrats (102), welcher das Bauelement umfasst. Anschließend wird eine Polymerschicht (106) abgeschieden, die zumindest die zumindest eine Opferstruktur umfasst. Dann wird eine Öffnung (108) in der Polymerschicht (106) gebildet, um einen Abschnitt der Opferstruktur freizulegen. Anschließend wird die Opferstruktur entfernt und die gebildete Öffnung (108) in der Polymerschicht (106) wird verschlossen.
(EN)The invention relates to a method for producing a protective covering for a component provided on a substrate (102), according to which at least one sacrificial structure is produced on the substrate (102). The sacrificial structure covers at least one region of the substrate (102) that surrounds the component. Afterwards, a polymer layer (106) is deposited that surrounds the at least one sacrificial structure. An opening (108) is made inside the polymer layer (106) in order to expose a section of the sacrificial structure. The sacrificial structure is then removed, whereupon the opening (108) made in the polymer layer (106) is closed.
(FR)L'invention concerne un procédé pour fabriquer une couverture de protection pour un composant entouré d'un substrat (102). Une structure sacrificielle est tout d'abord créée sur le substrat (102), cette structure sacrificielle couvrant au moins une zone du substrat (102) qui enveloppe le composant. Puis, une couche polymère (106) est déposée, laquelle entoure au moins la structure sacrificielle. Ensuite, une ouverture (108) est façonnée dans la couche polymère (106) pour mettre à nu une partie de la structure sacrificielle. Enfin, ladite structure sacrificielle est enlevée et l'ouverture (108) créée dans la couche polymère (106) est refermée.
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)