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1. (WO2003054868) TRÄGERVORRICHTUNG FÜR SUBSTRATE

Pub. No.:    WO/2003/054868    International Application No.:    PCT/EP2002/014385
Publication Date: 03.07.2003 International Filing Date: 17.12.2002
IPC: F26B 15/20
G11B 7/26
Applicants: STEAG HAMATECH AG
HARTFELDER, Timo
MICHELS, Frank
Inventors: HARTFELDER, Timo
MICHELS, Frank
Title: TRÄGERVORRICHTUNG FÜR SUBSTRATE
Abstract:
Eine Trägervorrichtung zum Tragen von Substraten (9) in einer Substrat-Behandlungseinrichtung ermöglicht ein besonders wirkungsvolles und gleichmässiges Kühlen bzw. Wärmen und/oder Trocknen von Substraten (9) unter Verwendung einer Platte (1) mit einer Fixiereinrichtung (2) zum lösbaren Fixieren eines Substrats (9) auf der Platte (1). Ein Verfahren zum Kühlen und/oder Trocknen von Substraten in einer Substrat-Behandlungsvorrichtung ist angegeben.