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1. (WO2003054867) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN FÜR OPTISCHE DATENTRÄGER
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/054867    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2001/015156
Veröffentlichungsdatum: 03.07.2003 Internationales Anmeldedatum: 20.12.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    09.01.2003    
IPC:
C23C 14/56 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
Anmelder: STEAG HAMATECH AG [DE/DE]; Ferdinand-von-Steinbeis-Ring 10, 75447 Sternenfels (DE) (For All Designated States Except US).
SÄMANN, Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HILL-EHRENFEUCHTER, Holger [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SÄMANN, Martin; (DE).
HILL-EHRENFEUCHTER, Holger; (DE)
Vertreter: WAGNER & GEYER; Gewuerzmuehlstrasse 5, 80538 Munich (DE)
Prioritätsdaten:
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN FÜR OPTISCHE DATENTRÄGER
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PROCESSING SUBSTRATES FOR OPTICAL DATA MEDIA
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS POUR SUPPORTS DE DONNEES OPTIQUES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Für die Herstellung unterschiedlicher optischer Datenträger mit einer einzelnen Anlage, die einerseits kompakt ist, und die rasch zwischen der Herstellung unterschiedlicher optischer Datenträger wechseln kann, sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten vor. Die Vorrichtung besitzt eine Substrat-Beladeeinheit, einen Rundschalttisch (120), eine dem Rundschalttisch zugeordnete Behandlungseinheit (124), eine Substrat-Entladeeinheit, sowie erfindungsgemäß wenigstens eine weitere, dem Rundschalttisch zugeordnete Behandlungseinheit (128), wobei der Rundschalttisch elf Tischpositionen aufweist. Bei dem Verfahren werden jeweils ein erstes und ein zweites Substrat auf benachbarten Positionen eines elf Positionen aufweisenden Rundschalttisch abgelegt und die Substrate in Abhängigkeit vom zu bildenden Datenträger in einem Einzeltakt oder einem Dreiertakt zwischen einer Beladeposition, wenigstens einer Behandlungsposition und benachbarten Entladepositionen bewegt.
(EN)The present invention relates to a substrate processing method and device for the fabrication of different optical data media by means of a single installation, which is compact and capable of rapidly alternating the fabrication of different optical data media. Said device comprises a substrate loading unit, a rotary indexing table (120), a processing unit (124) associated with said rotary indexing table, a substrate unloading unit as well as, according to said invention, at least one other processing unit (128) associated with said rotary indexing table, whereby said rotary indexing table has eleven table positions. According to said method, a first and a second substrate are placed in adjacent positions of a rotary indexing table having eleven positions and said substrates are displaced between a loading position, at least one processing position and adjacent unloading positions, in a single cycle or in three cycles, depending on the data medium which is to be fabricated.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un dispositif de traitement de substrats, permettant la fabrication de supports de données optiques différents à l'aide d'une installation unique, de conception compacte et capable d'alterner rapidement la fabrication de supports de données optiques différents. Ce dispositif comprend une unité de chargement de substrats, une table à transfert circulaire (120), une unité de traitement (124) associée à la table à transfert circulaire, une unité de déchargement de substrats ainsi que, selon cette invention, au moins une autre unité de traitement (128) associée à cette table à transfert circulaire, ladite table à transfert circulaire présentant onze emplacements. Selon le présent procédé, un premier et un deuxième substrat sont déposés sur des emplacements adjacents d'une table à transfert circulaire à onze emplacements et ces substrats sont déplacés, en un ou trois cycles en fonction du support de données à fabriquer, entre un emplacement de chargement, au moins un emplacement de traitement et des emplacements de déchargement adjacents.
Designierte Staaten: CA, CN, IL, JP, KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)