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1. (WO2003053844) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES BAUELEMENTS MIT EINER BEWEGLICHEN STRUKTUR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/053844    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2002/014193
Veröffentlichungsdatum: 03.07.2003 Internationales Anmeldedatum: 12.12.2002
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    21.07.2003    
IPC:
B81C 1/00 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53, 81669 München (DE) (For All Designated States Except US).
BARZEN, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DEHE, Alfons [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BARZEN, Stefan; (DE).
DEHE, Alfons; (DE)
Vertreter: SCHOPPE, Fritz; Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, Postfach 246, 82043 Pullach b. München (DE)
Prioritätsdaten:
101 63 506.0 21.12.2001 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES BAUELEMENTS MIT EINER BEWEGLICHEN STRUKTUR
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING A COMPONENT WITH A MOBILE STRUCTURE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE FABRICATION D'UN COMPOSANT PRESENTANT UNE STRUCTURE MOBILE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei einem Verfahren zur Herstellung eines Bauelements mit einer beweglichen Struktur (30) wird ein Substrat prozessiert, um Zwischenbauelemente (20) auf dem Substrat zu erhalten, wobei ein Zwischenbauelement (20) die bewegliche Struktur (30) und eine Schutzstruktur (50, 54), die die bewegliche Struktur (30) schützt, aufweist. Das Substrat wird vereinzelt, um ein vereinzeltes Zwischenbauelement (20) zu erhalten, das die Schutzstruktur (50, 54) aufweist. Anschließend wird die Schutzstruktur (50, 54) von dem vereinzelten Zwischenbauelement (20) entfernt, um das Bauelement zu erhalten. Eine Vorrichtung zur Herstellung eines Bauelements umfaßt Einrichtungen zum Durchführen der Verfahrensschritte.
(EN)The invention relates to a method for producing a component with a mobile structure (30), whereby a substrate is processed to obtain intermediate components (20) on said substrate, an intermediate component (20) presenting said mobile structure (30) and a protective structure (50, 54), which protects the mobile structure (30). The substrate is separated to obtain an isolated intermediate component (20), which presents said protective structure (50, 54). Said protective structure (50, 54) is then removed from the isolated intermediate component (20) to obtain the present component. Said invention also relates to a device for producing a component, which comprises units for executing the steps of said method.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un composant présentant une structure mobile (30). Selon ce procédé, on traite un substrat afin d'obtenir des composants intermédiaires (20) sur ce substrat, un composant intermédiaire (20) présentant la structure mobile (30) et une structure de protection (50, 54), qui protège cette structure mobile (30). On sépare ce substrat afin d'obtenir un composant intermédiaire individuel (20), qui présente ladite structure de protection (50, 54). On retire ensuite cette structure de protection (50, 54) du composant intermédiaire individuel (20), afin d'obtenir ledit composant. Cette invention concerne également un dispositif de fabrication d'un composant, pourvu d'installations permettant d'exécuter les étapes dudit procédé.
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)