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1. (WO2003039803) VORRICHTUNG ZUR SUBSTRATBEHANDLUNG MITTELS LASERSTRAHLUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/039803    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2002/010892
Veröffentlichungsdatum: 15.05.2003 Internationales Anmeldedatum: 27.09.2002
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    22.05.2003    
IPC:
B23K 26/067 (2006.01), B23K 26/08 (2006.01), B23K 26/38 (2006.01), G02B 5/09 (2006.01), G02B 26/12 (2006.01)
Anmelder: MLT MICRO LASER TECHNOLOGY GMBH [DE/DE]; Benzstrasse 5b, 85551 Kirchheim (DE) (For All Designated States Except US).
PAUL, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HERRMANN, Walter [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: PAUL, Helmut; (DE).
HERRMANN, Walter; (DE)
Vertreter: MANITZ, FINSTERWALD & PARTNER GBR; Postfach 31 02 20, 80102 München (DE)
Prioritätsdaten:
101 54 508.8 07.11.2001 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUR SUBSTRATBEHANDLUNG MITTELS LASERSTRAHLUNG
(EN) DEVICE FOR SUBSTRATE TREATMENT BY MEANS OF LASER RADIATION
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AU MOYEN D'UN RAYONNEMENT LASER
Zusammenfassung: front page image
(DE)Eine Vorrichtung zur Substratbehandlung mittels Laserstrahlung umfaßt einen Polygon-Drehspiegel (16), durch den wenigstens ein einfallender Laserstrahl reflektiert wird und über eine Anordnung (24) von nebeneinander liegenden Sammellinsen schwenkbar ist, die in einem genau oder ungefähr ihrer Brennweite entsprechenden Abstand vom Substrat angeordnet sind. Der Polygon-Drehspiegel ist in zumindest zwei eine unterschiedliche Anzahl von Facetten aufweisende Bereiche (16', 16'') unterteilt und so verstellbar, daß unterschiedliche Bereiche in den Strahlengang der laserstrahlung einbringbar und entsprechend unterschiedliche überstreiche Überstreich- oder Fächerwinkel des vom Polygon-Drehspiegel reflektierten Laserstrahles einstellbar sind.
(EN)A device, for substrate treatment by means of laser radiation, comprises a polygonal rotating mirror (16), by means of which at least one incident laser beam is reflected, which may be pivoted over an arrangement (24) of adjacent converging lenses, arranged at a separation from the substrate corresponding exactly or approximately to the focal length thereof. The polygonal rotating mirror is divided into at least two regions comprising facets and adjustable such that various regions (16', 16'') may be brought into the beam path of the laser radiation and correspondingly variable sweep or fanning angles for the laser beam reflected from the polygonal rotating mirror may be set.
(FR)L'invention concerne un dispositif de traitement de substrat au moyen d'un rayonnement laser, comprenant un miroir rotatif polygonal permettant de réfléchir au moins un faisceau laser incident et d'orienter ce dernier sur un agencement de lentilles convergentes adjacentes, lesquelles sont disposées à une distance du substrat correspondant exactement ou approximativement à leur distance focale. Le miroir rotatif polygonal est divisé en au moins deux zones comportant un nombre différent de facettes et peut être ajusté, de façon que différentes zones puissent être disposées dans la trajectoire du faisceau laser et que les angles de balayage et de dispersion variables correspondants du rayon laser réfléchi par le miroir rotatif polygonal puissent être réglés.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)