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1. (WO2003026034) TRANSISTORANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG

Pub. No.:    WO/2003/026034    International Application No.:    PCT/DE2002/003191
Publication Date: 27.03.2003 International Filing Date: 27.08.2002
IPC: H01L 29/786
H01L 51/40
Applicants: HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH
KÖNENKAMP, Rolf
CHEN, Jie
Inventors: KÖNENKAMP, Rolf
CHEN, Jie
Title: TRANSISTORANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
Abstract:
Bei Dünnschichttransistoren auf flexiblen Substraten kommt es bei Biegung, Scherung oder Dehnung leicht zu Verletzungen der Halbleiterschichten und Ablösungen von der Substratschicht. Die erfindungsgemässe Transistoranordnung ist so aufgebaut, dass in Mikrolöchern (4) eines Folienverbundes, bestehend aus zwei Kunststofffolien (1, 3) mit zwischenliegender Metallschicht (2), vertikal Halbleitermaterial eingebracht ist, welches durch Metallisierung der Ober-und Unterseite des Folienverbundes mit Kontakten (6,7) versehen ist. Da die Folie bieg- und dehnbar ist, ist die Anordnung sehr robust.