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1. (WO2003015122) VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON GEGENSTÄNDEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/015122    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2002/008852
Veröffentlichungsdatum: 20.02.2003 Internationales Anmeldedatum: 07.08.2002
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    12.12.2002    
IPC:
C23C 16/511 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Anmelder: SCHOTT GLAS [DE/DE]; Hattenbergstrasse 10, 55122 Mainz (DE) (AE, AG, AL, AM, AT, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, FR, GA, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HR, HU, ID, IS, IT, KE, KG, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NE, NL, NO, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZM, ZW only).
CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as SCHOTT GLAS [DE/DE]; Hattenbergerstrasse 10, 55122 Mainz (DE) (AU, BB, BF, BJ, BZ, CF, CG, CI, CM, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GW, IE, IL, IN, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, MG, ML, MN, MR, MW, MZ, NE, NZ, SD, SG, SL, SN, SZ, TD, TG, TT, TZ, UG, VN, ZA, ZM, ZW only).
CARL-ZEISS-STIFTUNG [DE/DE]; 89518 Heidenheim an der Brenz (DE) (BB, BF, BJ, BZ, CF, CG, CI, CM, GA, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GW, JP, KE, KG, KZ, LC, LK, LR, LS, MG, ML, MN, MR, MW, MZ, NE, SD, SL, SN, SZ, TD, TG, TT, TZ, UG, VN, ZM, ZW only).
BEHLE, Stephan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BEWIG, Lars [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KÜPPER, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MARING, Wolfram [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MÖLLE, Christoph [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WALTHER, Marten [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BEHLE, Stephan; (DE).
BEWIG, Lars; (DE).
KÜPPER, Thomas; (DE).
MARING, Wolfram; (DE).
MÖLLE, Christoph; (DE).
WALTHER, Marten; (DE)
Vertreter: HERDEN, Andreas; Blumbach, Kramer & Partner GbR, Alexandrastrasse 5, 65187 Wiesbaden (DE)
Prioritätsdaten:
101 38 693.1 07.08.2001 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON GEGENSTÄNDEN
(EN) DEVICE FOR THE COATING OF OBJECTS
(FR) DISPOSITIF POUR MUNIR DES OBJETS D'UN REVETEMENT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten von Gegenständen. Die vorliegende Erfindung ist ausgestattet mit den folgenden Merkmalen: mit einer einzigen Mikrowellenquelle; mit zwei oder mehreren Beschichtungskammern; alle Beschichtungskammern sind an die einzige Mikrowellenquelle angeschlossen; es ist eine Impedanzstruktur oder eine Hohlleiterstruktur zur Aufteilung der Mikrowellenenergie zur Erzeugung der Plasmen in den einzelnen Kammern vorgesehen.
(EN)The invention relates to a device for the coating of objects. Said invention is characterised by the following features: a single microwave source, two or more coating chambers, all coating chambers are connected to the single microwave source and an impedance structure or a hollow guide structure is provided for distribution of the microwave energy for generation of the plasma in the individual chambers.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de munir des objets d'un revêtement. L'invention présente les caractéristiques suivantes : il n'est prévu qu'une seule source de micro-ondes ; au moins deux chambres de recouvrement ; toutes les chambres de recouvrement sont raccordées à l'unique source de micro-ondes ; il est prévu une structure d'impédance ou une structure de guide d'ondes pour répartir l'énergie des micro-ondes afin de produire des plasmas dans les chambres individuelles.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)