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1. (WO2003005128) SENSOR ZUR STRAHLUNGSENERGIEBESTIMMUNG UND VERWENDUNG HIERFÜR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/005128    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2002/007252
Veröffentlichungsdatum: 16.01.2003 Internationales Anmeldedatum: 02.07.2002
IPC:
G01J 1/48 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, JP, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR only).
FIOLKA, Damian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: FIOLKA, Damian; (DE)
Vertreter: WELLER, Erich, W.; Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner, Kronenstr. 30, 70174 Stuttgart (DE)
Prioritätsdaten:
101 31 918.5 02.07.2001 DE
Titel (DE) SENSOR ZUR STRAHLUNGSENERGIEBESTIMMUNG UND VERWENDUNG HIERFÜR
(EN) SENSOR FOR DETERMINING RADIATED ENERGY AND USE THEREOF
(FR) CAPTEUR DESTINE A DETERMINER L'ENERGIE DE RAYONNEMENT ET SON UTILISATION A CET EFFET
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf einen Sensor zur Bestimmung der Energie von Strahlung eines Typs, der zur Umwandlung von Sauerstoff in Ozon fähig ist, und auf eine Verwendung eines solchen Sensors. Erfindungsgemäss beinhaltet der Sensor eine von der Strahlung durchstrahlbare Messkammer (1) mit einem Gaseinlass (4) und einem Gasauslass (6), Mittel (8) zur Zuführung eines sauerstoffhaltigen Gases (9) in die Messkammer über den Gaseinlass und zur Gasabführung über den Gasauslass, ein Ozonsensorelement (10) zur Messung des Ozongehaltes des in Messkammer befindlichen oder des über den Gasauslass abgeführten Gases (9a) und Auswertemittel (12) zur Bestimmung der Strahlungsenergie aus dem gemessenen Ozongehalt. Der Sensor ist z.B. zur Strahlungsenergiebestimmung in einem mit der Strahlung arbeitenden optischen Abbildungssystem verwendbar. Verwendung z.B. in Mikrolithographie-Projektionsbelichtungssystemen.
(EN)The invention relates to a sensor for determining the radiated energy of a type which is capable of converting oxygen into ozone, and to the use of said sensor. According to the invention, the sensor contains a measuring chamber (1) which can be penetrated by radiation, comprising a gas inlet (4) and a gas outlet (6), means (8) for supplying gas (9) containing oxygen into the measuring chamber by the gas inlet and for supplying gas into the measuring chamber via the gas inlet and means for discharging said gas via the outlet, an ozone element (10) for measuring the ozone content of the gas (9a) in the measuring chamber or the gas (9a) discharged via the gas outlet, and evaluating means (12) for determining the radiation energy from the measured ozone content. The sensor can, for example, be used for determining the radiation energy in an optical imaging system working with said rays. Said sensor can be used, for example, in a microlithography-projection exposure system.
(FR)La présente invention concerne un capteur destiné à déterminer l'énergie de rayonnement d'un type capable de réaliser la conversion d'oxygène en ozone, et une utilisation d'un capteur de ce type. Selon l'invention, le capteur comprend une chambre de mesure (1) pouvant être parcourue par le rayonnement et comportant une ouverture d'entrée de gaz (4) et une ouverture de sortie de gaz (6), un système (8) destiné à l'apport d'un gaz contenant de l'oxygène (9) dans la chambre de mesure par l'ouverture d'entrée de gaz, et à l'évacuation du gaz par l'ouverture de sortie de gaz, un élément de détection d'ozone (10) destiné à mesurer la teneur en ozone du gaz (9a) se trouvant dans la chambre de mesure ou sortant par l'ouverture de sortie de gaz, et un système d'évaluation (12) destiné à déterminer l'énergie de rayonnement à partir de la teneur en ozone mesurée. Le capteur peut être utilisé par ex. pour la détermination d'énergie de rayonnement dans un système de représentation optique fonctionnement grâce audit rayonnement. Il peut par ex. être utilisé dans des systèmes d'éclairage projeté de microlithographie.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)