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1. (WO2003002988) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ORTSAUFGELÖSTEN MESSUNG EINER SCHICHTDICKE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2003/002988    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2002/006401
Veröffentlichungsdatum: 09.01.2003 Internationales Anmeldedatum: 11.06.2002
IPC:
G01J 3/02 (2006.01), G01J 3/06 (2006.01), G01J 3/10 (2006.01), G01J 3/28 (2006.01), G01N 21/45 (2006.01), G01N 21/84 (2006.01)
Anmelder: CARL-ZEISS JENA GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
GRÄFE, Dieter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KÜHNER, Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DOBSCHAL, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: GRÄFE, Dieter; (DE).
KÜHNER, Martin; (DE).
DOBSCHAL, Hans-Jürgen; (DE)
Vertreter: BREIT, Ulrich; Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner, Perhamerstrasse 31, 80687 München (DE)
Prioritätsdaten:
101 31 684.4 29.06.2001 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ORTSAUFGELÖSTEN MESSUNG EINER SCHICHTDICKE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR LOCAL RESOLUTION MEASUREMENT OF THE THICKNESS OF A LAYER
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURE A RESOLUTION LOCALE DE L'EPAISSEUR D'UNE COUCHE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Es ist vorgesehen, eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Messung der Dicke einer auf einem Probenträger (7) liegend befindlichen Schicht, mit einer Lichtquelle (1-3), die polychromatische Strahlung mit einer bestimmten Spektralverteilung abgibt, einer Beleuchtungsoptik (4-6), die den Probenträger (7) mit Strahlung der Lichtquelle (1-3) beleuchtet, einer Detektoroptik (6, 5, 8), die von einem linienförmigen Abschnitt des Probenträgers (7) reflektierte Strahlung aufnimmt und als linienförmiges Strahlbündel an einen Polychromator (9, 11) leitet, der das linienförmige Strahlbündel in ein feldförmiges Spektrum auftrennt, und einer Kamera (12), die das feldförmige Spektrum empfängt, wobei der Polychromator (9,11) auf die Spektralverteilung der Strahlung der Lichtquelle abgestimmt ist.
(EN)A device for local resolution measurement of a layer on a sample carrier (7), comprising a light source(1-3) emitting polychromatic radiation having a specific spectral distribution, an illuminating optics system (4-6) which illuminates the sample carrier (7) with radiation from the light source (1-3), a detector optics system(6, 5, 8) which picks up radiation reflected by a linear section of the sample carrier (7) and guides it as a linear bundle of rays to a polychromator (9,11) which separates the linear bundle of rays into a field-shaped spectrum, and a camera (12) which receives the field-shaped spectrum. The polychromator (9,11) is tuned according to the spectral distribution of the radiation from the light source.
(FR)Dispositif de mesure à résolution locale de l'épaisseur d'une couche déposée sur un support (7) d'échantillons, qui comporte une source de lumière (1-3) produisant un rayonnement polychromatique à répartition spectrale déterminée, un ensemble optique d'éclairage (4-6) qui éclaire le support (7) d'échantillons avec le rayonnement provenant de la source de lumière (1-3), un ensemble optique de détection (6, 5, 8) captant le rayonnement réfléchi par un segment linéaire du support (7) d'échantillons et guidant ce rayonnement en tant que faisceau de rayons linéaire vers un polychromateur (9, 11) qui sépare le faisceau de rayons linéaire en un spectre à configuration de champ, et une caméra (12) qui reçoit le spectre à configuration de champ, le polychromateur (9, 11) étant accordé à la répartition spectrale du rayonnement produit par la source de lumière.
Designierte Staaten: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)