Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
Einige Inhalte dieser Anwendung sind derzeit nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO2002042723) STRÖMUNGSSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2002/042723 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/DE2001/003906
Veröffentlichungsdatum: 30.05.2002 Internationales Anmeldedatum: 11.10.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 29.05.2002
IPC:
G01F 1/684 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
F
Messen des Volumens, des Durchflussvolumens, des Massendurchflusses oder des Füllstandes; volumetrische Mengenmessung
1
Messen des Volumen- oder Massendurchflusses eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes, wobei das Fluid in einem ständigen Fluss durch das Instrument fließt
68
mittels thermischer Effekte
684
Bauliche Anordnungen; Anbringung der Bauteile, z.B. in Bezug auf die Strömung des Fluids
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE (AllExceptUS)
ARTMANN, Hans [DE/DE]; DE (UsOnly)
PANNEK, Thorsten [DE/DE]; DE (UsOnly)
KONZELMANN, Uwe [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
ARTMANN, Hans; DE
PANNEK, Thorsten; DE
KONZELMANN, Uwe; DE
Prioritätsdaten:
100 58 009.223.11.2000DE
Titel (DE) STRÖMUNGSSENSOR
(EN) FLOW SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ECOULEMENT
Zusammenfassung:
(DE) Es wird ein Strömungssensor (5), insbesondere zur Analyse von Gasströmungen, mit einem Tragkörper (10) und mindestens einem auf eine Strömung eines Mediums sensitiven Sensorbauelement (15) vorgeschlagen, wobei das Sensorbauelement (15) zumindest bereichsweise von dem Tragkörper (10) durch einen gegenüber dem Tragkörper (10) schlecht wärmeleitenden Bereich getrennt ist, Weiter ist vorgesehen, dass der schlecht wärmeleitende Bereich (11, 11`, 14) ein poröser Siliziumbereich (11) oder ein poröser Siliziumoxidbereich (11`) ist, oder dass der schlecht wärmeleitende Bereich (11, 11`, 14) eine Ausnehmung (14) in der Oberfläche des Tragkörpers (10) ist, über der das Sensorbauelement (15) auf mindestens einem zumindest weitgehend freitragenden, über die Ausnehmung (14) führenden Steg (13) angeordnet ist. Der vorgeschlagene Strömungssensor (5) eignet sich besonders zur winkelabhängigen Detektion einer Gasströmung.
(EN) The invention relates to a flow sensor (5), in particular for analysing gas flows. Said sensor comprises a support body (10) and at least one sensor component (15) that is sensitive to the flow of a medium. At least certain sections of the sensor component (15) are separated from the support body (10) by a zone with poor thermal conductivity in relation to said support body (10). In addition, the zone with poor thermal conductivity (11, 11`, 14) is a porous silicon zone (11) or a porous silicon oxide zone (11`), or said zone with poor thermal conductivity (11, 11`, 14) is a recess (14) in the surface of the support body (10), over which the sensor component (15) is positioned on at least one substantially self-supporting strip (13) that extends over the recess (14). The inventive flow sensor (5) is particularly suitable for the angular detection of a gas flow.
(FR) Capteur d'écoulement (5), en particulier pour l'analyse d'écoulements de gaz, qui comporte un corps de support (10) et au moins un composant capteur (15) sensible à l'écoulement d'un fluide. Le composant capteur (15) est séparé du corps de support (10), tout au moins dans certaines zones, par une zone mauvaise conductrice de chaleur par rapport au corps de support (10). En outre, la zone mauvaise conductrice de chaleur (11, 11', 14) est une zone en silicium (11) poreux ou une zone en oxyde de silicium (11') poreux, ou bien ladite zone mauvaise conductrice de chaleur (11, 11', 14) se présente sous forme d'un évidement ménagé dans la surface du corps de support (10), le composant capteur étant placé au-dessus dudit évidement sur au moins une barrette (13) au moins largement en porte-à-faux située au-dessus de l'évidement. Le capteur d'écoulement (5) selon la présente invention est particulièrement adapté pour la détection angulaire d'un écoulement de gaz.
front page image
Designierte Staaten: JP, US
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Also published as:
EP1340052JP2004514153US20040069626